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对准载物台制造技术
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下载对准载物台的技术资料
文档序号:8982577
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本发明提供一种对准载物台(10)具备:底板(11);进行向直线X方向的推力的产生和引导的一个或者多个X方向推力产生引导机构(12);设置在X方向推力产生引导机构(12)的上方的一对下部板(31);与下部板(31)对应设置的一对上部板(33)...
该专利属于THK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过THK株式会社授权不得商用。
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