真空镀膜传动机构的固定装置制造方法及图纸

技术编号:8971154 阅读:130 留言:0更新日期:2013-07-26 03:01
本实用新型专利技术涉及真空镀膜领域,具体是一种真空镀膜传动机构的固定装置,包括底座和法兰盘,底座安装在镀膜真空室的腔壁上,底座中心轴线上有可供传动机构的传动轴穿过的第一通孔,第一通孔的直径大于传动轴的直径;法兰盘通过固定螺杆固定在所述底座上,固定螺杆的直径与传动机构的驱动轴的直径比为2:3~1:1,法兰盘上有可供传动机构的驱动轴穿过的第二通孔,第二通孔的直径大于所述驱动轴的直径。本实用新型专利技术的固定装置能够起到很好的固定传动机构的作用,减小底座的晃动,并能保证密封件位置不变,起到密封效果。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

Fixing device for vacuum coating transmission mechanism

The utility model relates to the field of vacuum coating, in particular a fixing device of a vacuum coating of the transmission mechanism comprises a base and a flange, the cavity wall is installed in the vacuum chamber coating on the base, a first through hole shaft for the transmission mechanism through the base of the central axis, the first hole is larger than the diameter of the drive shaft the diameter of the flange; through the fixed screw fixed on the base, the diameter and the driving mechanism of the drive shaft of the fixed screw diameter ratio of 2:3 to 1:1, the flange drive shaft passes through the through hole second for transmission mechanism, the second hole diameter greater than the diameter of the drive shaft. The fixing device of the utility model can play a very good role in fixing the transmission mechanism, reduce the shaking of the base, and can ensure the position of the sealing element to be unchanged.

【技术实现步骤摘要】

真空镀膜传动机构的固定装置
[0001 ] 本技术涉及真空镀膜领域,具体是一种真空镀膜传动机构的固定装置。
技术介绍
随着真空镀膜行业的发展,传动机构在传送装载架中的应用越来越广泛,传动机构的电机在工作时带动驱动轴转动,驱动轴带动传动轮的传动轴转动,进而使安装在传动轮上的皮带轮一起转动,由于装载架是直接放到皮带轮上,皮带轮转动带动装载架运动,从而达到传送玻璃基片的目的。传动机构的电机工作时,不仅能使驱动轮和传动轮转动,有时还会使传动轴或驱动轴发生一定程度的摆动,从而使整个传动机构发生晃动而不能很好的固定在真空室的腔壁上,使传送的装载架偏离预期轨道,降低镀膜质量;同时也容易使传动机构中的密封件脱落,失去密封效果,从而造成真空室内真空度得不到保障。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种固定能力强,不易变形的固定装置。为解决上述技术问题,本专利技术提供了一种真空镀膜传动机构固定装置,包括底座和法兰盘,所述底座可安装在镀膜真空室的腔壁上,底座中心轴线上有可供传动机构的传动轴穿过的第一通孔,所述第一通孔的直径大于所述传动轴的直径;所述法兰盘通过固定螺杆固定在所述底座上,所述固定螺杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空镀膜传动机构固定装置,包括底座和法兰盘,所述底座可安装在镀膜真空室的腔壁上,底座中心轴线上有可供传动机构的传动轴穿过的第一通孔,所述第一通孔的直径大于所述传动轴的直径;法兰盘通过固定螺杆固定在所述底座上,法兰盘上有可供传动机构的驱动轴穿过的第二通孔,所述第二通孔的直径大于所述驱动轴的直径,其特征在于:所述固定螺杆的直径与所述驱动轴的直径比为2:3~1:1。

【技术特征摘要】
1.真空镀膜传动机构固定装置,包括底座和法兰盘,所述底座可安装在镀膜真空室的腔壁上,底座中心轴线上有可供传动机构的传动轴穿过的第一通孔,所述第一通孔的直径大于所述传动轴的直径;法兰盘通过固定螺杆固定在所述底座上,法兰盘上有可供传动机构的驱动轴穿过的第二通孔,所述第二通孔的直径大于所述驱动轴的直径,其特征在于:所述固定螺杆的直径与所述驱动轴的直径比为2:3 1...

【专利技术属性】
技术研发人员:王成雷钟汝梅张红
申请(专利权)人:安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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