【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空镀膜机清洗设备，用于对真空镀膜机部件的冷却管路清洗，其特征在于：真空镀膜机清洗设备包括储液装置，该储液装置包括储液腔体、出液管和回液管，该出液管和回液管上分别设置若干出液支管，该回液管上设置有若干回液支管，该出液支管与真空镀膜设机的冷却管路一端连通，该回液管与冷却管路的另一端连通，该储液装置的一端连接有高压气泵，以向储液腔体内充入高压气体，使出液管和回液管内充满清洗液。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄登聪，彭立全，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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