机器人系统技术方案

本发明专利技术涉及一种机器人系统，该机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手构造成保持薄板状工件，所述臂构造成使所述手移动；以及机器人控制器，该机器人控制器构造成控制所述机器人。所述机器人控制器控制所述机器人以使其在预定的工件搬动位置处执行工件的搬运，使得在所述手已到达所述工件搬运位置之后使所述手在沿竖直方向移动的同时沿水平方向移动。

【技术实现步骤摘要】

本文所公开的实施方式涉及机器人系统。
技术介绍
常规上，已知有一种机器人系统，该机器人系统利用诸如水平多关节机器人的机器人以将诸如晶片的基板搬入/搬出半导体制造过程中的处理单元。在机器人系统中使用的机器人例如包括:升降部，该升降部能够沿竖直方向移动；第一臂，该第一臂的基端部以可旋转的方式连接到升降部；以及第二臂，该第二臂的基端部以可旋转的方式连接到第一臂的末端部。此外，机器人包括位于第二臂的末端部处用于在其上安装基板的手。通过顺序地执行利用升降部沿竖直方向移动手的操作和利用第一臂和第二臂沿水平方向移动手的操作，该机器人执行向执行单元搬入基板/从处理单元搬出基板(例如，参见日本专利特开公报N0.2011-159738)。然而，在常规技术中，在搬运时可能发生基板的摩擦，因此需要对该方面进行改进。
技术实现思路
鉴于以上内容，本文所公开的实施方式提供一种能够抑制基板的摩擦的机器人系统。根据实施方式的一方面，提供了一种机器人系统，该机器人系统具有机器人的机器人控制器。所述机器人包括手和臂，所述手构造成保持薄板状工件，所述臂构造成使所述手移动。所述机器人控制器控制所述机器人。此外，当所述机器人控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机器人系统，所述机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手构造成保持薄板状工件，所述臂构造成使所述手移动；以及机器人控制器，该机器人控制器构造成控制所述机器人，其中，所述机器人控制器控制所述机器人以使其在预定的工件搬动位置处执行所述工件的搬运，使得在所述手已到达所述工件搬运位置之后使所述手在沿竖直方向移动的同时沿水平方向移动。

【技术特征摘要】
2012.01.24 JP 2012-0119681.一种机器人系统，所述机器人系统包括: 机器人，该机器人包括手和臂，所述手构造成保持薄板状工件，所述臂构造成使所述手移动；以及 机器人控制器，该机器人控制器构造成控制所述机器人， 其中，所述机器人控制器控制所述机器人以使其在预定的工件搬动位置处执行所述工件的搬运，使得在所述手已到达所述工件搬运位置之后使所述手在沿竖直方向移动的同时沿水平方向移动。2.根据权利要求1所述的机器人系统，其中，在从所述工件搬运位置沿竖直方向移动所述手的同时沿水平方向移动所述手之后，所述机器人控制器使所述手沿水平方向退回。3.根据权利要求1所述的机器人系统，其中，在从所述工件搬运位置沿竖直方向移动所述手的同时沿水平方向移动所述手之后，所述机器人控制器进一步使所述手沿竖直方向移动，并且然后使所述手沿水平方向退回。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村吉希，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：