机器人系统技术方案

本发明专利技术涉及一种机器人系统，该机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人。当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人在预定的工件搬运位置处搬运所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。

【技术实现步骤摘要】

本文所讨论的实施方式涉及机器人系统。
技术介绍
常规上，已知有一种机器人系统，该机器人系统通过利用诸如水平多关节机器人的机器人而在半导体制造过程中将诸如晶片的基板搬入/搬出处理设备。在这样的机器人系统中，随着作为待搬运物体的基板的尺寸的增加和成本的升高，安全且可靠地搬运基板的重要性也已提高。因此，近来，已提出用于安全且可靠地搬运基板的各种技术。例如，日本专利特开公报2011-159738公开了一种通过为用于放置基板的机器人手设置夹持机构来防止基板在搬运期间发生偏移等的技术。在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，为了由夹持机构可靠地夹持基板，在机器人从处理设备接收到基板之后机器人被临时停止并且接着操作夹持机构。此夕卜，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，基于在操作夹持机构之后该夹持机构的操作状态来确认基板的存在与否，并且在确认了基板存在于手上之后，机器人再次操作以退回手。然而，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，夹持操作和基板存在与否确认独立于手的退回操作来执行。换言之，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机器人系统，所述机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人，其中，当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人搬运在预定的工件搬运位置处的所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。

【技术特征摘要】
2012.01.24 JP 2012-0119671.一种机器人系统，所述机器人系统包括: 机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及 机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人，其中， 当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人搬运在预定的工件搬运位置处的所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。2.根据权利要求1所述的机器人系统，其中，当所述机器人控制设备使所述机器人执行夹持所述工件的操作时，该机器人控制设备执行多次所述存在与否确认，并且当在第二次及随后的存在与否确认中确认了在所述手上不存在所述工件时，所述机...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村吉希，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
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