机器人系统技术方案

本发明专利技术涉及一种机器人系统，该机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人。当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人在预定的工件搬运位置处搬运所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。

【技术实现步骤摘要】

本文所讨论的实施方式涉及机器人系统。
技术介绍
常规上，已知有一种机器人系统，该机器人系统通过利用诸如水平多关节机器人的机器人而在半导体制造过程中将诸如晶片的基板搬入/搬出处理设备。在这样的机器人系统中，随着作为待搬运物体的基板的尺寸的增加和成本的升高，安全且可靠地搬运基板的重要性也已提高。因此，近来，已提出用于安全且可靠地搬运基板的各种技术。例如，日本专利特开公报2011-159738公开了一种通过为用于放置基板的机器人手设置夹持机构来防止基板在搬运期间发生偏移等的技术。在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，为了由夹持机构可靠地夹持基板，在机器人从处理设备接收到基板之后机器人被临时停止并且接着操作夹持机构。此夕卜，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，基于在操作夹持机构之后该夹持机构的操作状态来确认基板的存在与否，并且在确认了基板存在于手上之后，机器人再次操作以退回手。然而，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，夹持操作和基板存在与否确认独立于手的退回操作来执行。换言之，在日本专利特开公报2011-159738中描述的技术中，在执行夹持操作和基板的存在与否确认时不执行手的退回操作，因此搬运基板所需要的时间会变长。鉴于以上内容，而形成实施方式的一方面，并且实施方式的一方面的目的在于提供一种能够缩短搬运基板所需要的时间的机器人系统。
技术实现思路
根据实施方式的一方面的机器人系统包括:机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人。当所述机器人控制设备通过控制所述机器人使所述机器人在预定的工件搬运位置处搬运所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。根据实施方式的一方面，能够缩短搬运基板所需要的时间。附图说明通过参考结合附图考虑的下面详细说明，将容易获得对本专利技术的更全面认识以及本专利技术的许多附带优点，这是因为能够更好地理解本专利技术及其附带优点，在附图中:图1是示出根据第一实施方式的机器人系统的构造的示意图；图2是示出机器人的构造的示意图3是手的示意性立体图；图4A至图4C是晶片检测机构的构造和操作的说明图；图5是示出机器人控制设备的构造的框图；图6A是根据第一实施方式的晶片接收操作的说明图；图6B是根据第一实施方式的晶片输送操作的说明图；图7是示出晶片接收处理的处理过程的流程图；图8是示出晶片输送处理的处理过程的流程图；图9A是根据第二实施方式的晶片接收操作的说明图；图9B是根据第二实施方式的晶片输送操作的说明图；图1OA是根据第三实施方式的晶片接收操作的说明图；图1OB是根据第三实施方式的晶片输送操作的说明图；图1lA是根据晶片接收操作的另一说明图；以及图1lB是根据晶片输送操作的另一说明图。具体实施例方式在下文中，将参照附图详细地说明在本申请中公开的机器人系统的实施方式。在以下所示的实施方式中，以其中机器人包括两个手(即，上部手和下部手)的情况作为示例进行说明，然而，机器人可以仅包括一个手。本专利技术不局限于以下的实施方式。首先，将参照图1说明根据第一实施方式的机器人系统的构造。图1是示出根据第一实施方式的机器人系统的构造的不意图。下列说明中，为了阐明位置关系，限定彼此正交的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向。此外，在下列说明中，Z轴正向方向为竖直向上，并且X轴方向和Y轴方向为水平方向。如图1所示，根据第一实施方式的机器人系统I包括基板搬运单元2、基板供给单元3和基板处理单元4。基板搬运单元2包括机器人10和容纳该机器人10的外壳20。机器人10包括:手11，该手能够保持作为待搬运物体的晶片W ;臂12，该臂沿水平方面移动手11 ;以及基座13，该基座支承臂12以使得所述臂12能够升降并且能沿水平方向枢转。基座13布置在基座安装框架23上，所述基座安装框架形成为外壳20的底壁部。 机器人10在基板供给单元3和基板处理单元4之间执行晶片W的搬运操作，例如，从基板供给单元3接收晶片W和将所接收到的晶片W输送到基板处理单元4的操作。此外，机器10的手11设置有用于夹持晶片W的夹持机构。除了夹持机构之外，稍后将参照图2描述机器人10的具体构造和操作。外壳20例如是被称为EFEM (设备前端模块)的局部清洁装置，并且通过设置在上部中的过滤器单元24来产生清洁空气的向下流。外壳20的内部借助该向下流而保持在高清洁状态。腿部25设置在基座安装框架23的下表面上，并且在外壳20与安装表面100之间借助腿部25形成有预定间隙。基板供给单元3连接到外壳20的位于X轴正向方向侧的侧面21，从而允许基板供给单元3与外壳20的内部连通。此外，基板处理单元4连接到外壳20的在X轴负向方向侧的侧面22，从而允许基板处理单元4与外壳20的内部连通。这样，在机器人系统I中，基板供给单元3和基板处理单元4经由外壳20而彼此连接。基板供给单元3包括:F0UP (前端开口片盒)30，该FOUP沿竖直方向以多段的方式存放多个晶片W ;以及台31，该台用于将F0UP30支承在预定高度。在F0UP30中，未示出的盖被布置在面向外壳20侧的状态，并且F0UP30经由FOUP打开器(未示出)连接到外壳20，所述FOUP打开器用于打开和关闭所述盖。能够在台31上沿着Y方向平行地布置多个F0UP30。基板处理单元4例如是这样的处理单元，该处理单元在半导体制造过程中对晶片W执行预定处理，例如清洁处理、膜沉积处理和光刻处理。基板处理单元4包括执行预定处理的处理设备40。机器人系统I如上所述被构成，并且通过利用机器人10来执行将容纳在F0UP30中的晶片W搬运到处理设备40、将由处理设备40处理后的晶片W搬运到F0UP30等。在根据第一实施方式的机器人系统I中，通过设计操作夹持晶片W的夹持机构的正时和手11所沿的路径来缩短搬运晶片W所需要的时间并且防止晶片W的摩擦。以下将具体地描述这些部分。图2是示出机器人10的构造的示意图。如图2所示，根据第一实施方式的机器人10包括手11、臂12和基座13。此外，臂12包括升降单元12a、关节12b、12d和12f、第一臂单元12c以及第二臂单元12e。基座13是机器人10的安装在基座安装框架23 (参见图1)上的基础单元。升降单元12a以能够从基座13沿竖直方向(Z轴方向)滑动的方式设置(参见图2中的双头箭头a0)，并且沿竖直方向升降所述臂12。关节12b是绕轴线al的旋转关节(参见图2中的绕轴线al的双头箭头)。第一臂单元12c借助关节12b连接到升降单元12a，以能够相对于升降单元12a旋转。此外，关节12d是绕轴线a2的旋转关节(参见图2中的绕轴线a2的双头箭头)。第二臂单元12e借助关节12d连接到第一臂单元12c,以能够相对于第一臂单元12c旋转。此夕卜，关节12f是绕轴线a3的旋转关节(参见图2中的绕轴线a3的双头箭头)。手11借助关节12f连接到第二臂单元12e,以能够相对于第二臂单元12e旋转。机器人10设置有诸如马达的未示出的驱动源，并且随着关节12b、12d和12f的驱动而旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机器人系统，所述机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人，其中，当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人搬运在预定的工件搬运位置处的所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。

【技术特征摘要】
2012.01.24 JP 2012-0119671.一种机器人系统，所述机器人系统包括: 机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及 机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人，其中， 当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人搬运在预定的工件搬运位置处的所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。2.根据权利要求1所述的机器人系统，其中，当所述机器人控制设备使所述机器人执行夹持所述工件的操作时，该机器人控制设备执行多次所述存在与否确认，并且当在第二次及随后的存在与否确认中确认了在所述手上不存在所述工件时，所述机...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村吉希，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：