水电极大气等离子体加工回转零件方法技术

水电极大气等离子体加工回转零件方法，它属于等离子体加工碳化硅或融石英等硅基材料回转类零件的技术领域。它是为了解决放电不均匀、工件热变形等问题。它的步骤一：旋转成形电极的上端面连接转轴上；旋转成形电极为圆形外凸形；步骤二：待加工零件的外表面浸入水槽中的电解质水溶液内；步骤三：旋转成形电极靠近待加工零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：使旋转成形电极做回转运动，启动射频电源；步骤六：控制旋转成形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工零件。本发明专利技术的水电极的应用，使得电极与工件表面无间隙贴合，放电均匀，保证了加工精度，提高了加工稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于等离子体加工碳化硅或融石英等硅基材料回转类零件的

技术介绍
目前，硅基材料，如碳化硅、融石英等，由于其硬度高、脆性大、化学性质稳定等优点，在航空航天、军事、能源、芯片制造的高精度零件广泛应用。而在硅基材料零件中回转类零件占有极大的比例，如半球陀螺谐振子、大曲率非球面光学透镜、聚光非球面透镜等。但是由于硅基材料的难加工性，传统的依靠机械应力去除材料的方法，如超精密磨削、小工具研抛，存在加工周期长、加工表面及亚表面存在损伤等问题，无法满足零件需具有超光滑表面的要求。近年来，新提出的大气等离子体加工方式，由于属于非接触式化学加工，可在很大程度解决上述问题。但是目前的大气等离子体加工，多采用固定形状尺寸的固体电极，难以保证与工件外表面紧密的 贴合，这就会导致不同区域上间隙不同，引起放电不稳定，从而影响加工质量；另外，由于大气等离子体加工属于化学反应，在加工时会释放大量的热，弓丨起工件的热变形，这些问题都一定程度上限制了大气等离子体加工的应用。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种，为了解决当前加工效率低、放电不均匀、工件热变形等问题。所述的目的是通过以下方案实现的:本文档来自技高网...

【技术保护点】
水电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于它的步骤方法是：步骤一：将旋转成形电极（1）的上端面绝缘连接在升降装置（2）的竖直运动工作转轴（2?1）上；旋转成形电极（1）为圆形外凸形，旋转成形电极（1）的工作面直径尺寸比待加工零件（4）的内表面直径尺寸小5mm?15mm；旋转成形电极（1）的中心开有出气孔（1?1），出气孔（1?1）通过气管（5?1）与混合等离子体气源（5）导气连通；使旋转成形电极（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；步骤二：将待加工零件（4）装卡在水槽（2?2）中，并将待加工零件（4）的外表面浸入水槽（2?2）中的电解质水溶液内，电解质水溶液通过水槽...

【技术特征摘要】
1.水电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于它的步骤方法是: 步骤一:将旋转成形电极(I)的上端面绝缘连接在升降装置(2)的竖直运动工作转轴(2-1)上；旋转成形电极(I)为圆形外凸形，旋转成形电极(I)的工作面直径尺寸比待加工零件(4)的内表面直径尺寸小5mm-15mm ;旋转成形电极(I)的中心开有出气孔(1_1 )，出气孔(1-1)通过气管(5-1)与混合等离子体气源(5)导气连通；使旋转成形电极(I)与射频电源(3)的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极； 步骤二:将待加工零件(4)装卡在水槽(2-2)中，并将待加工零件(4)的外表面浸入水槽(2-2)中的电解质水溶液内，电解质水溶液通过水槽(2-2)接地作为大气等离子体放电的阴极； 步骤三:使旋转成形电极(I)靠近待加工零件(4)的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为5mm-15mm ； 步骤四:预热射频电源(3)和混合等离子体气源(5)，预热时间为5-10分钟；然后打开混合等离子体气源(5)，使等离子体气体的流量为I升/分钟 40升/分钟，反应气体与等离子体气体的流量比为1:l(Tl:50 ;辅助气体与反应气体的流量比为1:l(Tl:1 ； ...

【专利技术属性】
技术研发人员：王波，李铎，姚英学，金会良，李娜，辛强，金江，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：