多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法技术

多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法。它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一：圆盘形电极架外圆面上竖直设置有多片薄片形电极；步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上；步骤三：使每片薄片形电极的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：控制所有薄片形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明专利技术能对那些表面微结构形状具有周期重复性的密封环类零件表面进行高精度、高效率的加工。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法，其特征在于包括如下步骤：步骤一：将圆盘形电极架（1）的上端面绝缘连接在龙门加工机床（2）的竖直运动工作转轴（2?1）上，圆盘形电极架（1）外圆面上竖直设置有多片薄片形电极（1?1），每片薄片形电极（1?1）都与圆盘形电极架（1）的直径所在直线共线，使每片薄片形电极（1?1）都通过圆盘形电极架（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；圆盘形电极架（1）上的多个出气孔（1?2）都通过圆盘形电极架（1）中心的导气孔（1?3）、气管（6?1）与混合等离子体气源（6）导气连通，圆盘形电极架（1）上的每个出气孔（1?2）的出口端分别设置...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王波，金江，姚英学，金会良，乔政，李娜，辛强，李铎，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：