【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
大气等离子体成形电极加工碳化硅密封环类零件的方法,其特征在于包括如下步骤:步骤一:将等离子体成形电极(1)的上端面绝缘连接在龙门加工机床(2)的竖直运动工作轴(2?1)上,使等离子体成形电极(1)与射频电源(3)的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极;步骤二:将待加工碳化硅密封环类零件(4)装卡在地电极(2?3)上,地电极固定在龙门加工机床(2)的工作平台(2?2)上;将地电极(2?3)接地作为大气等离子体放电的阴极;将龙门加工机床(2)设置在密闭工作舱(5)中,使密闭工作舱(5)内的等离子体成形电极(1)的导气孔通过气管(5?1)与混合等离子体气源(6)导气连通;步骤三:等离子体成形电极(1)下端面的成形工作表面具有与待加工碳化硅密封环类零件(4)期望的微结构面型互补的微结构,对零件直接进行成形加工;等离子体成形电极(1)部分要求在径向覆盖住待加工碳化硅密封环类零件(4),等离子体成形电极(1)的下端所有转折部分倒圆角过渡,避免尖端放电,保证等离子体的放电均匀;使等离子体成形电极(1)靠近待加工碳化硅密封环类零件(4)的待加工表面,并使它们之间保持一定的放电间隙,放电间隙范围为1mm ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王波,辛强,姚英学,金会良,丁飞,李娜,金江,李铎,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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