A precision ultrasonic fluid jet polishing device, comprising a cylinder, the cylinder is arranged in the polishing liquid, a rotating disk is installed in the cylinder center, a workpiece is mounted on a rotating disk, the workpiece above a clamping cylinder, the lower cylinder to clamp in a sealing ring, a piezoelectric the vibrator is arranged in the sealing ring, applying an alternating voltage to the piezoelectric vibrator, piezoelectric vibrator will produce radial expansion, and also lead to axial expansion, driven by increased polishing movement, reaches the purpose of polishing; has the advantages of ultrasonic fluid jet polishing and conventional jet polishing compared without circulating system compared with the classical mechanical polishing, do not need a polishing pad and a clamping tool, the polishing effect is better, can obtain the ultra smooth surface, in the polishing process, the polishing liquid before polishing vibrator can be as long as The utility model has the advantages that the polishing liquid is required to be less than one injection, and the ceramic sheet can be used as a polishing vibrator.
【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种超声频压电振动抛光装置，特别涉及一种精密超声流体喷射抛光装置。
技术介绍
随着现代制造技术的发展以及工业装备自动化程度的提高，对产品的质量以及多样化的要求日益提高，对超级精密加工的要求也随之提高。超精密加工技术已经成为包含当代最新科技成果的一个复杂的系统工程。目前，抛光加工中的材料去除单位已经在纳米甚至亚纳米级，在这种加工尺度内，抛光的方法就变得至关重要。超精密抛光有很多种方法，各有优点，而为了保证各种电子和光学器件的性能，必须考率抛光对其表面质量的影响。磨料微粉配合抛光盘的机械作用对工件表面的粗糙度具有直接影响。只有机械作用减至最小，对工件的表面的破坏降至最低，才能保证获得超光滑表面。现有的超声椭圆振动——化学机械复合抛光技术，采用的是板状抛光装置，该超声抛光装置利用压电陶瓷的逆压电效应激发板状抛光工具做超声椭圆振动，实现对工件的超声抛光。该板状抛光装置存在的主要问题是，利用板状抛光工具的端部对工件进行抛光，抛光的面积小，工作效率低，另外，抛光振子的两个模态的实际共振频率也不容易获得一致。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有超声抛光装置存在的效率低、质量差的问题，提供一种结构简单、能够获得超光滑表面的精密超声流体喷射抛光装置。本技术有一个圆筒，圆筒内装有抛光液，在圆筒的中心安装有旋转圆盘，在旋转圆盘上安装有工件，在工件的上方有一个夹持圆筒，在夹持圆筒的下部有一个密封圈，在密封圈中安装有压电振子，在压电振子上施加交变电压，压电振子就会产生径向伸缩，并同时导致轴向伸缩，带动抛光液加剧运动，达到工件抛光的目的。本技术的优点在于:1、超...
【技术保护点】
一种精密超声流体喷射抛光装置，其特征在于，它有一个圆筒，圆筒内装有抛光液，在圆筒的中心安装有旋转圆盘，在旋转圆盘上安装有工件，在工件的上方有一个夹持圆筒，在夹持圆筒的下部有一个密封圈，在密封圈中安装有压电振子。
【技术特征摘要】
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