高性能低成本AZO复合靶材制备工艺研究制造技术

高纯度、高密度、低成本的烧结复合氧化锌铝材料。本发明专利技术属于无机化学金属元素；其化合物。本发明专利技术公开了一种新型致密的复合氧化锌铝。其特征是在粉末中加入氧化镓Ga2O3粉末、并且不添加任何烧结助剂而使氧化锌铝烧结致密化。本发明专利技术所述的烧结AZO纯度高于99.9％，相对密度≥99.4％。这种致密的复合氧化锌铝可作为镀膜用靶材，在平板显示、光电转换、电子玻璃等领域有着广泛的应用。

【技术实现步骤摘要】

:本专利属于无机化学金属元素；其化合物。
技术介绍
:复合氧化锌铝薄膜是一种被广泛研究的功能材料，属于透明导电氧化物TCO(Transparent Conductive Oxide)。TCO薄膜因具有可见光透过率高和导电率高(即电阻率低)的优异性能，在太阳能薄膜电池、平面显示、电子玻璃等领域广泛应用。磁控溅射制备TCO膜是国际上的主流工艺路线，所需的靶材有ΙΤ0(氧化铟掺杂锡)和ΑΖ0(氧化锌掺铝)。ITO靶材中所需的铟为稀缺元素，生产成本高、且有毒，同时制程中铟离子容易被还原，会大大降低导电率和光透过率。而AZO祀材原料易得,成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好，综合性能突出，是未来主流的TCO薄膜用靶材。AZO靶材在高温下都极易分解和挥发，因此将严重阻碍其高温下的烧结和致密化，使得其烧结异常困难。目前行业在溅射AZO靶材时，会因为靶材致密度低而出现的开裂等问题。解决了业界靶材溅射过程中的问题；并且溅射制备的薄膜光透光率在可见区为>80%，电阻率≤ 5 X 10-4 Ω.cm
技术实现思路
:本专利公开了一 种新型的高纯度、高密度、低成本的烧结复合氧化锌铝材料制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型致密的复合氧化锌铝，其特征是在粉末中加入氧化镓(Ga2O3)粉末、并且不添加任何烧结助剂而使氧化锌铝烧结致密化，所述的烧结AZO纯度高于99.9％，相对密度≥99.4％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨进，路彦军，李卓娜，
申请(专利权)人：杭州碳诺光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：