一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置，包括有氢气发生器电控装置、氢气报警器探头和氢气报警控制器，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置并联连接；本实用新型专利技术设计合理，结构简单，氢气报警控制器会给出一个开关信号切断氢气发生器电控装置的主电路，从而切断气体再生，确保安全性，这样能将发生意外的可能性降低到零，CVD系统可以检测切断保护试验中意外出现的危险，各个检测精度部件可以根据实验需求自由组合，这种组合方式适合各种CVD系统。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

:本技术涉及一种化学气相沉积CVD装置，具体涉及一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置。技术背景:化学气相沉积(CVD)是一种材料表面改性技术。近年来CVD技术已用于制备陶瓷、陶瓷基复合材料、C/C复合材料等，以及低压CVD理论研究。它可以利用气相间的反应，在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度条件下，赋予材料表面一些特殊的性能。目前，由化学气相沉积技术制备的材料，不仅应用于刀具材料、耐磨耐热耐腐蚀材料、宇航工业上的特殊复合材料、原子反应堆材料及生物医用材料等领域，而且被广泛应用于制备与合成各种粉体材料、块体材料、新晶体材料、陶瓷纤维及金刚石薄膜等。在作为大规模集成电路技术的铁电材料、绝缘材料、磁性材料、光电子材料的薄膜制备技术方面，更是不可或缺；气相中化学反应的装置由下列部件组成:反应物供应系统，气相反应器，气流传送系统，反应物多为金属氯化物，先被加热到一定温度，达到足够高的蒸汽压，用载气(一般为Ar或H2)送入反应器，由于实验所用载气多为氢气，传统的实验腔体就很难保证其安全性
技术实现思路
:本技术的目的是为了弥补已有技术的不足，提供了一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置，这样就解决了现有的实验所用载气为氢气，传统的实验腔体很难保证其安全性的问题。本技术解决方案如下:一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置，包括有氢气发生器电控装置、氢气报警器探头和氢气报警控制器，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置并联连接，所述氢气报警控制器与氢气报警器探头串联连接，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置之间设有自动开关，所述氢气报警控制器的输出端设有I个以上的开关信号接口。其工作原理是:氢气报警器探头检测检测信号超标时即当气体泄漏超出设定安全范围，氢气报警控制器会给出一个开关信号切断氢气发生器电控装置的主电路，从而切断气体再生，确保安全性，这样能将发生意外的可能性降低到零，CVD系统可以检测切断保护试验中意外出现的危险，各个检测精度部件可以根据实验需求自由组合，这种组合方式适合各种CVD系统。本技术设计合理，结构简单，氢气报警控制器会给出一个开关信号切断氢气发生器电控装置的主电路，从而切断气体再生，确保安全性，这样能将发生意外的可能性降低到零，CVD系统可以检测切断保护试验中意外出现的危险，各个检测精度部件可以根据实验需求自由组合,这种组合方式适合各种CVD系统。附图说明:图1为本技术的电路图。其中:1、氢气发生器电控装置，2、氢气报警器探头，3、氢气报警控制器，4、开关信号接口，5、自动开关。具体实施方式:参见附图，一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置，包括有氢气发生器电控装置、氢气报警器探头和氢气报警控制器，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置并联连接，所述氢气报警控制器与氢气报警器探头串联连接，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置之间设有自动开关，所述氢气报警控制器的输出端设有I个以上的开关信号接口。 氢气报警器探头检测检测信号超标时即当气体泄漏超出设定安全范围，氢气报警控制器会给出一个开关信号切断氢气发生器电控装置的主电路，从而切断气体再生，确保安全性，这样能将发生意外的可能性降低到零，CVD系统可以检测切断保护试验中意外出现的危险，各个检测精度部件可以根据实验需求自由组合，这种组合方式适合各种CVD系统。权利要求1.一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置，包括有氢气发生器电控装置、氢气报警器探头和氢气报警控制器，其特征在于:所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置并联连接，所述氢气报警控制器与氢气报警器探头串联连接，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置之间设有自动开关，所述氢气报警控制器的输出端设有I个以上的开关信号接口。专利摘要本技术公开了一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置，包括有氢气发生器电控装置、氢气报警器探头和氢气报警控制器，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置并联连接；本技术设计合理，结构简单，氢气报警控制器会给出一个开关信号切断氢气发生器电控装置的主电路，从而切断气体再生，确保安全性，这样能将发生意外的可能性降低到零，CVD系统可以检测切断保护试验中意外出现的危险，各个检测精度部件可以根据实验需求自由组合，这种组合方式适合各种CVD系统。文档编号C23C16/455GK203034097SQ20132005252公开日2013年7月3日 申请日期2013年1月30日 优先权日2013年1月30日专利技术者孔令杰 申请人:安徽贝意克设备技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种安全性智能控制化学?气相沉积CVD装置，包括有氢气发生器电控装置、氢气报警器探头和氢气报警控制器，其特征在于：所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置并联连接，所述氢气报警控制器与氢气报警器探头串联连接，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置之间设有自动开关，所述氢气报警控制器的输出端设有1个以上的开关信号接口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孔令杰，
申请(专利权)人：安徽贝意克设备技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：