树脂模塑方法及树脂模塑装置制造方法及图纸

树脂模塑方法及树脂模塑装置。所述方法能够在模塑用模组中树脂模塑工件的一侧面，其中，工件被吸附保持在至少一个箝位面并且在模腔凹部中进行树脂模塑。该方法包括以下步骤：吸附保持第一离型膜，所述第一离型膜覆盖所述模塑用模组的所述至少一个箝位面；将所述工件设定于所述模塑用模组；通过所述第一离型膜的在保持所述第一离型膜之前或之后形成的工件吸附孔来吸附所述工件的另一侧面，以将所述工件保持在所述至少一个箝位面；闭合所述模塑用模组以箝位所述工件；并且对已被容纳在所述模腔凹部中的树脂进行加压和加热。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及树脂模塑方法及树脂模塑装置，其中离型膜设置于模塑用模组的箝位面(clamping face)的至少一个工件载置面，该模塑用模组被设置为箝位状态，并且工件及其外周部在该模塑用模组中进行树脂模塑。
技术介绍
申请人:曾经专利技术了如下树脂模塑装置:在该树脂模塑装置中使用树脂和容易从模塑用模组剥离的长条状离型膜。在该树脂模塑装置中，缠绕在卷轴上的离型膜被供给到上模具的箝位面和下模具的箝位面之间的空间，并且离型膜被吸附。随后，工件与离型膜一起被载置在下模具的箝位面，树脂被供给到工件，工件的基板部通过箝位件箝位，并且工件被压缩模塑(见日本特开2000-277551号公报)。通过使用上述树脂模塑装置，在模塑用模组中没有形成树脂毛刺并且树脂没有污染箝位面，使得能够从箝位面容易地移除模塑品。在某些工件中，器件形成为靠近基板(例如晶片)的外边缘以用于大量生产。在某些情况中，由于不能够通过例如箝位件箝位基板，所以难以将工件正确地定位和设定在模塑用模组中。特别地，在使用离型膜的情况下，离型膜被吸附保持在箝位面，但是工件仅载置于离型膜。因此，工件不能够正确地定位保持在模塑用模组，不能够防止由工件和模具之间的热膨胀系数差引起的工件的翅曲(warp age)ο此外，由于树脂模塑范围包括工件的外边缘，所以工件和保持在箝位面的离型膜之间的接触面积大。如果不从模塑品剥离离型膜，则难以平滑地从模塑用模组中取出模塑品O
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供下述树脂模塑方法及树脂模塑装置，该树脂模塑方法和该树脂模塑装置能够解决传统技术的上述问题。即，本专利技术的方法和装置能够将工件正确地定位保持在模塑用模组的箝位面并且容易从模塑用模组移除外周部被树脂模塑的模塑品。为了实现该目的，本专利技术具有以下结构。S卩，在本专利技术的方法中，在模塑用模组中树脂模塑工件的一侧面，所述模塑用模组在箝位状态下树脂模塑工件，在所述模塑用模组中，所述工件被吸附保持在至少一个箝位面并且在外部尺寸比所述工件的外部尺寸大的模腔凹部中被树脂模塑。所述方法包括以下步骤:吸附保持第一离型膜，所述第一离型膜覆盖所述模塑用模组的所述至少一个箝位面；将所述工件设定于所述模塑用模组；通过所述第一离型膜的在保持所述第一离型膜之前或之后形成的工件吸附孔来吸附所述工件的另一侧面，以将所述工件保持在所述至少一个箝位面；闭合所述模塑用模组以箝位所述工件；并且对已被容纳在所述模腔凹部中的树脂进行加压和加热。在该方法中，通过覆盖一个箝位面的离型膜的工件吸附孔吸附工件的另一侧面并且将工件的该另一侧面保持在该箝位面，使得工件能够正确地定位保持在该箝位面并且在不污染保持工件的该箝位面的状态下进行树脂模塑。另一方面，本专利技术的树脂模塑装置在模塑用模组中对工件的一侧面进行树脂模塑，所述模塑用模组在箝位状态下树脂模塑工件，并且在所述模塑用模组中，工件被吸附保持在至少一个箝位面并且在外部尺寸比工件的外部尺寸大的模腔凹部中被树脂模塑。所述树脂模塑装置包括:所述模塑用模组，其包括:膜吸附孔，其形成于所述至少一个箝位面；工件吸引孔，其独立于所述膜吸附孔并且当离型膜被吸附保持时与所述离型膜的工件吸附孔连通；以及模腔凹部，用于模塑所述工件的树脂被供给到所述模腔凹部；输送部件，其用于将所述工件输送到所述模塑用模组，从而通过所述离型膜的所述工件吸附孔吸附所述工件的另一侧面并且将所述工件保持在所述至少一个箝位面，并且所述输送部件还用于从所述模塑用模组取出模塑品；以及剥离用部件，其用于在所述模塑用模组打开后从所述模塑品剥离粘在所述模塑品的所述离型膜。。在树脂模塑装置中，模塑用模组打开，随后移除粘在模塑品上的离型膜。即使工件(模塑品)的外周部被树脂模塑，在打开模塑用模组之后，在将张力施加于离型膜的状态下通过剥离单元能够从模塑品移除粘在工件的另一侧面上的离型膜。因此，模塑品能够从模塑用模组顺利地取出。在所述第一离型膜被吸附保持在所述至少一个箝位面之后，通过开孔夹具在所述第一离型膜形成所述工件吸附孔。例如，通过将开孔夹具的针插入到形成于所述模塑用模组的工件载置面的工件吸引孔来形成所述工件吸附孔。利用此结构，能够在第一离型膜被吸附保持在箝位面的状态下，确实地形成独立于膜吸附孔的工件吸附孔。所述开孔夹具包括引导筒，该引导筒引导所述针的往复运动，以及在通过将所述针插入到所述工件吸引孔而形成所述工件吸附孔时，所述引导筒压所述第一离型膜。利用此结构，能够防止工件吸附孔的内边缘的松弛和破损，并且能够形成工件吸附孔而不会由于针的往复运动引起第一离型膜的拉拽。具有所述工件吸附孔的所述第一离型膜被吸附保持在一个箝位面，以及第二离型膜被吸附保持在形成有所述模腔凹部的另一箝位面。利用此结构，工件载置面覆盖有第一离型膜并且模腔凹部覆盖有第二离型膜。因此，即使工件的两侧面都被树脂模塑，树脂也不接触模塑用模组，从而能够容易地清洁模塑用模组。通过引导构件来弓I导所述工件的设定，所述弓I导构件从形成于所述至少一个箝位面的工件载置面突出，以及当所述模塑用模组箝位所述工件时，所述引导构件从所述工件载置面缩回。利用此结构，引导构件引导工件的外周部，使得工件能够被载置于工件载置面并且吸附保持在工件载置面。此外，通过使弓I导构件从工件载置面缩回，能够树脂模塑工件的外周部。通过加载件将所述工件和所述树脂输送到所述模塑用模组，使所述加载件相对于所述至少一个箝位面正确地定位，以及所述加载件将所述工件设定到工件载置面。利用此构造，加载件能够相对于一个箝位面正确地定位并且能够将工件设定于工件载置面，使得工件能够被正确地设定和定位在模塑用模组中。在覆盖工件载置面的所述第一离型膜被吸附保持在所述至少一个箝位面并且通过卸载件保持所述模塑品并且从所述工件载置面升起所述模塑品的状态中，通过平行于所述工件地移动的剥离棒移除粘在所述模塑品的所述第一离型膜。利用此结构，在将张力施加于第一离型膜的状态下通过剥离棒能够强制地移除粘在外周部被树脂模塑的模塑品上的第一离型膜。因此，能够从模塑用模组容易地取出模塑品O在通过长的进给卷轴和长的收集卷轴的卷绕动作而将张力施加于覆盖所述工件载置面的所述第一离型膜的状态下，通过平行于所述工件地移动的剥离棒移除粘在所述模塑品的所述第一离型膜。利用此结构，通过预先将张力施加于粘在模塑品上的第一离型膜，通过移动剥离棒使第一离型膜弯曲，使得能够容易地从模塑品剥离第一离型膜。在通过卸载件保持所述模塑品并且从工件载置面升起所述模塑品的状态下，通过保持所述第一离型膜并且使所述第一离型膜移离所述工件的剥离卡具，来移除覆盖所述工件载置面并且粘在所述模塑品的所述第一离型膜。在该情况下，优选地，在通过所述剥离卡具移除所述第一离型膜之前，在所述工件下方插入产品接收台。能够防止当从模塑品移除第一离型膜时模塑品从卸载件掉落。通过使用本专利技术的树脂模塑方法及树脂模塑装置，即使利用离型膜载置工件，工件也能够正确地定位并且确实地保持在箝位面。此外，能够从模塑用模组容易地移除外周部被树脂模塑的模塑品。附图说明现在，将利用示例并参照附图说明本专利技术的实施方式，在附图中:图1是树脂模塑装置的剖视图；图2是模塑用模组的开/闭机构的说明图；图3是下模具的平面图，其中加载件被移动到下模具；图4A和图4B是模塑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种树脂模塑方法，其用于在模塑用模组中树脂模塑工件的一侧面，所述模塑用模组在箝位状态下树脂模塑所述工件，在所述模塑用模组中，所述工件被吸附保持在至少一个箝位面并且在外部尺寸比所述工件的外部尺寸大的模腔凹部中被树脂模塑，所述方法包括以下步骤：吸附保持第一离型膜，所述第一离型膜覆盖所述模塑用模组的所述至少一个箝位面；将所述工件设定于所述模塑用模组；通过所述第一离型膜的在保持所述第一离型膜之前或之后形成的工件吸附孔来吸附所述工件的另一侧面，以将所述工件保持在所述至少一个箝位面；闭合所述模塑用模组以箝位所述工件；并且对已被容纳在所述模腔凹部中的树脂进行加压和加热。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：田上秀作，村松吉和，前川昌范，中泽英明，藤泽雅彦，宫本拓也，
申请(专利权)人：山田尖端科技株式会社，
类型：发明
国别省市：