本发明专利技术涉及一种树脂密封装置及树脂密封方法。本发明专利技术的树脂密封装置包括通过压缩成形对工件的电子组件进行树脂密封的树脂成形单元，树脂成形单元、树脂成形单元包括：树脂密封模具，包括上模及下模；以及清洁器部，包括集尘口，所述集尘口设置于将工件搬送至树脂密封模具中的装载机抓手的搬送路径上，清洁器部在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出成形后的工件而在搬送路径上移动时，对在搬送路径上移动的装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。件的至少一者执行清洁动作。件的至少一者执行清洁动作。
【技术实现步骤摘要】
树脂密封装置及树脂密封方法
[0001]本专利技术涉及一种树脂密封装置及树脂密封方法。
技术介绍
[0002]已知有一种对搭载于基材上的电子组件进行树脂密封的树脂密封装置。在这种树脂密封装置中，有时在装置内会产生由粒子(树脂粉或异物等尘埃)引起的污染，而存在对将电子组件进行树脂密封的成形品的可靠性造成影响的情况。为了防止这种由粒子引起的污染，例如，专利文献1中公开了一种树脂模塑装置，其包括：压制部，包括夹持工件及模塑树脂进行树脂密封的模塑模具；以及清洁装置，对搬送至压制部的工件的背面进行清洁。
[0003][现有技术文献][0004][专利文献][0005][专利文献1]日本专利特开2021
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178411号公报
技术实现思路
[0006][专利技术所要解决的问题][0007]粒子不仅会附着于工件背面，也有附着于工件表面或搬送工件的装载机抓手等的可能性。而且，粒子除了可附着于树脂密封前的工件以外，存在在树脂密封的工件的成形品的状态下也可附着的可能性。
[0008]本专利技术是鉴于这种情况而完成，本专利技术的目的在于提供一种可抑制粒子的附着而实现经树脂密封的成形品的品质的提高的树脂密封装置及树脂密封方法。
[0009][解决问题的技术手段][0010]本专利技术的一实施例的树脂密封装置对包括基材及电子组件的工件的电子组件进行树脂密封，其包括树脂成形单元，所述树脂成形单元通过压缩成形对工件的电子组件进行树脂密封，树脂成形单元包括：树脂密封模具，包括上模及下模；以及清洁器部，包括设置于将工件搬送至树脂密封模具中的装载机抓手的搬送路径上的集尘口，清洁器部在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出成形后的工件而在搬送路径上移动时，对在搬送路径上移动的装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。
[0011]根据所述形态，在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出工件而在搬送路径上移动时，对装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。因此，可有效地抑制粒子附着于工件或装载机抓手的情况，从而实现成形品的品质的提高。
[0012]本专利技术的另一实施例的树脂密封方法是对包括基材及电子组件的工件的电子组件进行树脂密封的树脂密封方法，其包括：通过装载机抓手将工件供给至树脂密封模具；利用树脂密封模具对电子组件进行树脂密封；以及通过装载机抓手从树脂密封模具中取出经树脂密封的成形后的工件，所述树脂密封方法还包括：在装载机抓手为了将工件供给至树
脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出成形后的工件而在搬送路径上移动时，对在搬送路径上移动的装载机抓手或工件执行清洁动作。
[0013]根据所述形态，在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出工件而在搬送路径上移动时，对装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。因此，可有效地抑制粒子附着于工件或装载机抓手的情况，从而提高成形品的品质。
[0014][专利技术的效果][0015]根据本专利技术，可抑制粒子的附着而实现经树脂密封的成形品的品质的提高。
附图说明
[0016]图1是本专利技术的一实施方式的树脂密封装置的平面图。
[0017]图2是图1的树脂密封装置的部分放大图。
[0018]图3是图1的树脂密封模具的剖视图。
[0019]图4是图1的清洁器部的剖视图。
[0020]图5是表示本专利技术的一实施方式的树脂密封方法的流程图。
[0021]图6是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0022]图7是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0023]图8是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0024]图9是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0025]图10是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0026]图11是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0027]图12是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0028]图13是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0029]图14是用来对本专利技术的一实施方式的树脂密封方法进行说明的图。
[0030][符号的说明][0031]1：树脂密封装置
[0032]10：工件供给单元
[0033]11：工件收纳部
[0034]13：工件传送部
[0035]15：工件预热部
[0036]19：工件供给控制面板
[0037]20、30：树脂成形单元
[0038]21、31、121：树脂密封模具
[0039]22、123：下模
[0040]22a、123a：下板
[0041]22b、122b：模腔楔件
[0042]22c、122c：定位件
[0043]22d、122d：赋能构件
[0044]22e、22f、22g、23c、122e、122f、122g、123c：抽吸孔
[0045]23、122：上模
[0046]23a、122a：上板
[0047]23b、123b：模腔板
[0048]25、35、125：模腔
[0049]26、36：清洁器部
[0050]26a：下部清洁器
[0051]26b：上部清洁器
[0052]27、37：膜处理器
[0053]29、39：树脂成形控制面板
[0054]40：树脂供给单元
[0055]41：树脂供给部
[0056]44：树脂防护罩
[0057]50：功能构件供给单元
[0058]51：功能构件收纳部
[0059]53：功能构件传送部
[0060]60：第一装载机
[0061]60R：第一引导部
[0062]61：第一装载机抓手
[0063]62：第一基座
[0064]63：第一导杆
[0065]70：第二装载机
[0066]70R：第二引导部
[0067]71：第二装载机抓手
[0068]72：第二基座
[0069]73：第二导杆
[0070]78：保持工具
[0071]80：树脂加热器
[0072]90：成形品回收单元
[0073]91：成形品接收部
[0074]93：成形品传送部
[0075]95：成形品收纳部
[0076]262a、262b：刷子
[0077]264a、264b：集尘口
[0078]266a、266b：开口部
[0079]F：膜
[0080]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种树脂密封装置，其对包括基材及电子组件的工件的所述电子组件进行树脂密封，所述树脂密封装置包括树脂成形单元，所述树脂成形单元通过压缩成形对所述工件的所述电子组件进行树脂密封，所述树脂成形单元包括：树脂密封模具，包括上模及下模；以及清洁器部，包括集尘口，且设置于将所述工件搬送至所述树脂密封模具的装载机抓手的搬送路径上，所述清洁器部在所述装载机抓手为了将所述工件供给至所述树脂密封模具而在所述搬送路径上移动时、及在所述装载机抓手为了从所述树脂密封模具中取出成形后的所述工件而在所述搬送路径上移动时，对在所述搬送路径上移动的所述装载机抓手及所述工件的至少一者执行清洁动作。2.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中所述清洁器部在所述装载机抓手为了将所述工件供给至所述树脂密封模具而进入所述树脂密封模具时，对在所述搬送路径上移动的所述装载机抓手及所述工件的至少一者执行清洁动作。3.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中所述清洁器部在所述装载机抓手为了将所述工件供给至所述树脂密封模具而从所述树脂密封模具中退出时，对在所述搬送路径上移动的所述装载机抓手执行清洁动作。4.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中所述清洁器部在所述装载机抓手为了从所述树脂密封模具中取出所述工件而进入所述树脂密封模具时，对在所述搬送路径上移动的所述装载机抓手执行清洁动作。5.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中所述清洁器部在所述装载机抓手为了从所述树脂密封模具中取出所述工件而从所述树脂密封模具中退出时，对在所述搬送路径上移动的所述装载机抓手及所述工件的至少一者执行清洁动作。6.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中所述清洁器部的所述集尘口设置于所述装载机抓手的所述搬送路径的上方，所述清洁器部...
【专利技术属性】
技术研发人员：田上秀作，柳泽诚，
申请(专利权)人：山田尖端科技株式会社，
类型：发明
国别省市：
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