本发明专利技术提供一种树脂密封装置及树脂密封品的制造方法，能够抑制工件的损伤。一种树脂密封装置(1)，用于利用树脂对工件(W)进行树脂密封，其包括：工件加热部(110)，对工件(W)进行加热；以及工件保持部(121、122)，为了将由工件加热部(110)加热后的工件(W)搬送至树脂密封模具(21～51)而进行保持；且工件加热部(110)具有加热器(113、114)及支撑位置变更机构，所述支撑位置变更机构能够使工件加热部(110)中的工件(W)的支撑位置相对于加热器(113、114)在工件(W)的厚度方向上相对变更。在工件(W)的厚度方向上相对变更。在工件(W)的厚度方向上相对变更。
【技术实现步骤摘要】
树脂密封装置及树脂密封品的制造方法
[0001]本专利技术涉及一种树脂密封装置及树脂密封品的制造方法。
技术介绍
[0002]在利用树脂对工件进行树脂密封的树脂密封装置中，实施如下操作：在将工件搬入树脂密封模具之前进行预热。
[0003]在专利文献1中公开有一种树脂密封装置，工件加热部能够拆装地与装载机一体化，并且能够使工件加热部经由装载机而移动至树脂密封模具附近。工件经由装载机机械手的工件保持部而自索引(index)部交付给工件加热部。工件加热部中的工件的支撑位置相对于工件被固定。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2004
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140047号公报
技术实现思路
[0007][专利技术所要解决的问题][0008]然而，在专利文献1中记载的树脂密封装置中，为了避免装载机机械手被加热，需要迅速地进行工件自装载机机械手向工件加热部的交接。另外，由于加热器的温度足以使被支撑于固定后的支撑位置的工件升温至充分的温度，因此工件在刚刚被交付给工件加热部之后就被强力加热。因此，存在因急剧的温度变化而工件损伤的情况。
[0009]本专利技术是鉴于此种情况而成，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制工件的损伤的树脂密封装置及树脂密封品的制造方法。
[0010][解决问题的技术手段][0011]本专利技术的一实施例的树脂密封装置是用于利用树脂对工件进行树脂密封的树脂密封装置，且包括：工件加热部，对工件进行加热；以及工件保持部，为了将由工件加热部加热后的工件搬送至树脂密封模具而进行保持；且工件加热部具有加热器及支撑位置变更机构，所述支撑位置变更机构能够使工件加热部中的工件的支撑位置相对于加热器在工件的厚度方向上相对变更。
[0012]本专利技术的一实施例的树脂密封品的制造方法包括：将工件设置于装载机的工件加热部；一边搬送工件一边进行预热；将工件自工件加热部交付给装载机机械手；以及利用装载机机械手将工件搬入树脂密封模具中；且对工件进行预热包括使工件加热部中的工件的支撑位置相对于加热器在工件的厚度方向上相对变更。
[0013][专利技术的效果][0014]根据本专利技术，可提供一种能够抑制工件的损伤的树脂密封装置及树脂密封品的制造方法。
附图说明
[0015]图1是概略地表示第一实施方式的树脂密封装置的结构的平面图。
[0016]图2是概略地表示第一实施方式的装载机的结构的剖面图。
[0017]图3是概略地表示工件加热部接收工件的工序的图。
[0018]图4是概略地表示工件加热部在第一支撑位置支撑工件的工序的图。
[0019]图5是概略地表示工件加热部在第二支撑位置支撑工件的工序的图。
[0020]图6是概略地表示工件加热部将工件交付给工件保持部的工序的图。
[0021]图7是概略地表示第二实施方式的装载机的结构的剖面图。
[0022]图8是概略地表示第三实施方式的树脂密封装置的结构的平面图。
[0023]图9是表示第四实施方式的树脂密封品的制造工序的流程图。
[0024][符号的说明][0025]1：树脂密封装置(模制装置)
[0026]10：内模块
[0027]11A、11B、12A、12B、111A、111B、112A、112B：侧轨
[0028]13：索引部
[0029]15：供给料盒
[0030]17：料片供给部
[0031]18：树脂料片
[0032]20～50：冲压模块
[0033]21～51：树脂密封模具
[0034]90：外模块
[0035]91：打浇口托盘
[0036]93：打浇口机械手
[0037]95：收纳料盒
[0038]100：装载机
[0039]101：基座
[0040]110：工件加热部
[0041]110A：第一工件加热部
[0042]110B：第二工件加热部
[0043]111、112：工件支撑部
[0044]113、114：加热器
[0045]115A、115B、116A、116B：弹簧
[0046]117：气缸
[0047]118：保温盖
[0048]118a：按下部
[0049]118b：突起部
[0050]120：装载机机械手
[0051]121、122：工件保持部
[0052]125：料片保持孔
[0053]127：遮门
[0054]200：卸载机
[0055]300：引导部
[0056]S10、S20、S30、S40：工序
[0057]W：工件
具体实施方式
[0058]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。各实施方式的附图是例示，各部的尺寸或形状是示意性的，不应将本申请专利技术的技术范围限定于所述实施方式来解释。
[0059]参照图1及图2对本专利技术的实施方式的树脂密封装置1的结构进行说明。图1是概略地表示第一实施方式的树脂密封装置的结构的平面图。图2是概略地表示第一实施方式的装载机的结构的剖面图。
[0060]在各个附图中，为了明确各个附图相互的关系并有助于理解各构件的位置关系，有时为了方便而标注包含X轴、Y轴及Z轴的正交坐标系。将包含X轴及Y轴的面设为“XY面”，将Z轴的箭头所朝的方向设为上方向，将与Z轴的箭头朝向相反的方向设为下方向进行说明。
[0061]树脂密封装置(模制装置)1用于对工件进行树脂密封(模制成形)。如图1所示，树脂密封装置1包括：内模块10，供给树脂密封前的工件；冲压模块20、冲压模块30、冲压模块40、冲压模块50，对工件进行树脂密封；以及外模块90，回收树脂密封后的工件。另外，树脂密封装置1包括具有引导部300、装载机100及卸载机200的搬送机构。
[0062]在图1所示的例子中构成为，内模块10、冲压模块20～冲压模块50及外模块90分别在X轴方向上排列配置，装载机100及卸载机200能够沿着遍及所述各模块延伸的引导部300移动。在本实施方式中，装载机100包括工件加热部110及装载机机械手120。
[0063]树脂密封装置1例如是对工件W进行树脂密封的树脂密封装置。作为树脂密封装置的一例，有利用注入至闭合的树脂密封模具(模制模具)的空腔中的树脂的填充压力进行加压加热的转移成形机。此外，在以下所示的例子中，作为树脂密封装置的一例，说明包括对工件进行树脂密封的冲压模块的装置整体，但本专利技术的树脂密封装置未必限于包括冲压模块，只要是本实施方式的具有工件加热部的装置(例如，装载机、内模块等)且用于工件的树脂密封即可。
[0064]工件W包括由树脂密封装置树脂密封的元件(例如，半导体元件、微机电系统(Micro
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Electro
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Mechanical System，M本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种树脂密封装置，用于利用树脂对工件进行树脂密封，其特征在于，所述树脂密封装置包括：工件加热部，对工件进行加热；以及工件保持部，为了将由所述工件加热部加热后的工件搬送至树脂密封模具而进行保持；且所述工件加热部具有加热器及支撑位置变更机构，所述支撑位置变更机构能够使所述工件加热部中的工件的支撑位置相对于所述加热器在工件的厚度方向上相对变更。2.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其特征在于，所述支撑位置变更机构构成为能够将工件的支撑位置变更为与所述加热器分离的第一支撑位置、及较所述第一支撑位置更靠近所述加热器的第二支撑位置。3.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其特征在于，包括将工件搬送至所述树脂密封模具的装载机，所述装载机具有所述工件加热部及所述工件保持部。4.根据权利要求3所述的树脂密封装置，其特征在于，所述工件加热部能够相对于所述工件保持部相对移动。5.根据权利要求4所述的树脂密封装置，其中，所述支撑位置变更机构构成为能够在水平方向上与所述工件保持部的下方分离的位置，变更工件的支撑位置。6.根据权利要求5所述的树脂密封装置，其特征在于，所述工件加热部构成为能够自对工件的朝向进行定位的索引部直接接收工件。7.根据权利要求6所述的树脂密封装置，其特征在于，所述索引部具有能够夹持工件的一对第一侧轨，所述工件加热部的所述支撑位置变更机构具有一对第二侧轨，所述一对第二侧轨构成为能够接收在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：高山凌，柳泽高行，小口达司，佐藤洋平，
申请(专利权)人：山田尖端科技株式会社，
类型：发明
国别省市：
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