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树脂密封装置及树脂密封品的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:38195038
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本发明提供一种树脂密封装置及树脂密封品的制造方法,能够抑制工件的损伤。一种树脂密封装置(1),用于利用树脂对工件(W)进行树脂密封,其包括:工件加热部(110),对工件(W)进行加热;以及工件保持部(121、122),为了将由工件加热部(1...
该专利属于山田尖端科技株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过山田尖端科技株式会社授权不得商用。
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