【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头。
技术介绍
感应耦合等离子体刻蚀机主要用于生产晶圆，在生产过程中，有专用工艺冷却水系统对其进行温控，起到保温的作用。现有工艺冷却水系统都是直接从水源端通过水管通入感应耦合等离子体刻蚀机中，长期使用后，水管中会堆积很多的水垢，进而很容易造成水管的堵塞，由此，工艺冷却水系统起不到温控和保温的作用，大大影响了晶圆的生产质量，造成大量废品、次品的出现，对企业造成极大的损失。
技术实现思路
本技术的目的，就是为了解决上述问题而提供了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头。本技术的目的是这样实现的:本技术的一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，所述接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，其中，所述接头主体的前端设有环形凹槽，所述环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，所述滚珠通孔内设有滚珠，所述套筒套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且所述套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于所述接头主体内壁的凸缘，所述弹簧套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且该弹簧两端分别抵住所述套筒的凸缘和所述接头本体环形凹槽的侧槽壁；所述插头外侧设有与所述滚珠配合的凸起，且所述插头的外径从其前端至所述凸起处渐增。上述的一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，其中，所述滚珠通孔的内径由所述接头主体内壁端朝外渐增。本技术快速接头可实现工艺冷却水系统用水管快速便捷的断开和接合，断开水管后，即可对水管中的水垢进行清理，清理完毕后再将水管接合，操作十分简便，保证了工艺冷却水系统的稳定运行，大大提高了感应耦合等离子体刻蚀机的生产稳定性。...
【技术保护点】
一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，其特征在于，所述接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，其中，所述接头主体的前端设有环形凹槽，所述环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，所述滚珠通孔内设有滚珠，所述套筒套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且所述套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于所述接头主体内壁的凸缘，所述弹簧套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且该弹簧两端分别抵住所述套筒的凸缘和所述接头本体环形凹槽的侧槽壁；所述插头外侧设有与所述滚珠配合的凸起，且所述插头的外径从其前端至所述凸起处渐增。
【技术特征摘要】
1.一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，其特征在于，所述接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，其中， 所述接头主体的前端设有环形凹槽，所述环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，所述滚珠通孔内设有滚珠，所述套筒套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且所述套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于所述接头主体...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄惠良，李雪峰，陈子勇，
申请(专利权)人：上海鸿辉光通科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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