温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，接头主体的前端设有环形凹槽，环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，滚珠通孔内设有滚珠，套筒和弹簧套设于环形凹槽部位，套筒...
该专利属于上海鸿辉光通科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海鸿辉光通科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。