压电振动装置制造方法及图纸

技术编号:8806207 阅读:265 留言:0更新日期:2013-06-13 23:43
本发明专利技术提供一种压电振动装置,难以产生电连接部分处的压电元件、支承构件等的由应力集中产生的破坏,可靠性优异。压电振动装置(1)在支承构件(2)的压电元件接合面(2a)接合了压电元件(7),压电元件(7)具有形成在第1主面(8a)的第1驱动电极(9)、和形成在第2主面(8b)的第2驱动电极(10),通过第1接合件层(5),第1驱动电极(9)与形成在支承构件(2)的压电元件接合面(2a)的第1布线电极(3)电连接,并且压电元件(7)接合于支承构件(2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如用于压电致动器、压电发声体等中的压电振动装置,更详细而言,涉及使压电元件与支承构件接合并且利用了弯曲模式的压电振动装置。
技术介绍
以往,压电振动装置用于压电致动器、压电发声体或者触觉设备(Haptics)等。作为压电发声体,例如存在压电扬声器。在下述的专利文献I中,公开了一种用于压电发声体的压电振动装置。在该压电振动装置中,在壳体内容纳了多个压电振子。图17是表示多个压电振子1001、1002容纳在壳体1003中的部分的主要部分的部分放大剖视图。这里,仅图示了壳体1003的一部分。在设置在壳体1003中的容纳部1003a内,容纳了压电振子1001、1002。压电振子1001、1002隔着间隔物1004而层叠。而且,按照夹着层叠在间隔物1004的两侧的压电振子1001、1002的方式,安装有由金属构成的箝位部1005。通过箝位部1005,夹持压电振子1001、1002,并且通过箝位部1005实现了与压电振子1001、1002的外侧面的电极的电连接。压电振子1001、1002的另一侧的端部也由同样的构造支承。在先技术文献专利文献专利文献I JP特开2006-3248本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.11.01 JP 2010-2451301.一种压电振动装置,具备: 压电元件,其具有:压电体,其具有相互对置的第I主面以及第2主面;第I驱动电极,其与第I主面平行地形成在所述压电体的所述第I主面侧;和第2驱动电极,其与第2主面平行地形成在所述压电体的所述第2主面侧,并且与所述第I驱动电极对置,所述第I驱动电极、第2驱动电极在所述压电体的厚度方向上对置的区域设为活性区域,所述第I驱动电极和所述第2驱动电极未对置的区域设为非活性区域;以及支承构件,其具有接合所述压电元件的压电元件接合面, 所述支承构件具有第I布线电极,该第I布线电极形成在所述压电元件接合面,并且与所述压电元件的第I驱动电极电连接, 所述压电振动装置还具备第I接合件层,该第I接合件层将所述压电元件的所述第I驱动电极与所述支承构件的所述第I布线电极电连接,并且将所述压电元件的第I主面与所述支承构件的压电元件接合面接合。2.根据权利要求1所述的压电振动装置,其中, 所述压电元件还具有连接电极,该连接电极在所述压电体的所述非活性区域中形成在所述压电体的第I主面,并且与形成在所述第2主面的第2驱动电极电连接, 所述支承构件还具有第2布线电极,该第2布线电极形成在所述压电元件接合面,并且与所述第2驱动电极电连接, 所述压电振动装置还具备第2接合件层,该第2接合件层将所述连接电极与所述第2布线电极电连接,并且将所述压电元件的第I主面与所述支承构件的压电元件接合面接合。3.根据权利要求1或2所述的压电振动装置,其中, 所述支承构件存在用于从外部支承所述支承构件的弯曲模式支承部,使得所述压电元件以弯曲模式进行振动时,所述支承构件与该压电元件一起以相同频率的弯曲模式进行振动。4.根据权利要求3所述的压电振动装置,其中, 所述弯曲模式支承部位于周边部,该周边部位于接合了所述压电元件的区域的外侧,所述第I布线电极到达所述周边部。5.根据权利要求4所述的压电振动装置,其中, 所述支承构件中的至少I次弯曲模式的节点...

【专利技术属性】
技术研发人员:宇波俊彦进藤智森田亘加贺山健司堀川胜弘
申请(专利权)人:株式会社村田制作所
类型:
国别省市:

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