表面声波谐振器以及表面声波振荡器制造技术

技术编号:8745077 阅读:196 留言:0更新日期:2013-05-29 22:39
本发明专利技术提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器,能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器的特征在于,该表面声波谐振器具有:欧拉角为,117°≤θ≤142°,41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板;以及叉指换能器,其在上述石英基板上具有多个电极指,激励产生阻带上端模式的表面声波,俯视时,在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽,上述表面声波的波长λ、上述电极指的电极膜厚H、以及上述电极指间槽的深度G满足以下关系:0.0407≤(G+H)/λ≤0.20。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面声波谐振器,其特征在于,该表面声波谐振器具有:欧拉角为117°≤θ≤142°,41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板;以及叉指换能器,其在上述石英基板上具有多个电极指,激励产生阻带上端模式的表面声波,俯视时,在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽,上述表面声波的波长λ、上述电极指的电极膜厚H、以及上述电极指间槽的深度G满足以下关系:0.0407≤(G+H)/λ≤0.20。FDA00002713654100011.jpg

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:山中国人
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:

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