压电振动片以及压电元件制造技术

一种压电振动片以及压电元件，所述压电振动片包括：矩形形状的激振部、框部、连结部、以及突起部。激振部包含：两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、以及在第二方向延伸的第二边。第二边比第一边更长。第二方向与第一方向正交。连结部将激振部的第一边与框部予以连结，且连结部的厚度比框部的厚度更薄。在连结部、与连结部与激振电极之间的区域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。突起部的第一方向的长度与连结部的第一方向的长度相同、或为连结部的第一方向的长度以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种压电振动片(piezoelectric vibrating pieces)以及压电元件(piezoelectric device),所述压电振动片的朝向激振部的应力的影响已受到抑制。
技术介绍
如下的压电振动片已为人所知，该压电振动片包括:激振部，以规定的频率发生振动；框部，将激振部的周围予以包围；以及连结部，将激振部及框部予以连结。在此种压电振动片中，将盖板(lid plate)以及基底板(base plate)接合于框部的表面背面，从而形成压电元件。该压电元件是安装于印刷(print)基板等而被使用。此种压电元件有时会承受施加至印刷基板的应力。施加至压电元件的应力会对压电振动片产生影响，使激振部的振动频率的特性发生变化。对于如上所述的问题，例如在日本专利特开2007-214942号公报中表示了如下的内容:在连结部形成锯齿状的缺口，借此，期待使从框部向激振部传递的应力缓和。该揭露是以如下的方式进行揭示，另外，表示了如下的内容:当缺口的深度为框部的一半以上时，框部与激振部不会呈直线地被连结。在此情况下，热或应力的实质性的传递距离增加，从而会发挥大的缓和效果。然而，日本专利特开2007-214942号公报所揭示的压电振动片是在连结部形成缺口。因此，认为:所述压电振动片对于由落下引起的冲击等的耐受性会减弱。特别是，最近的压电振动片已变薄以使压电元件实现小型化。有可能因形成所述缺口而使耐冲击性下降。另外，日本专利特开2007-214942号公报揭示有两端固定型压电振动片。该压电振动片在激振部的相向的边上，分别形成连结部。相对于此，对于悬臂型压电振动片而言，将连结部仅连接于激振部的一条边上，由此，耐冲击性进一步减弱。因此，针对压电振动片，还希望对于激振部的应力的影响受到抑制，并且具有充分的耐冲击性。承上述，需要不会受到所述缺点的影响的压电振动片以及压电元件。
技术实现思路
压电振动片的一个侧面包括:矩形形状的激振部、将激振部予以包围的框部、连结部、以及突起部。激振部包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、向第一方向延伸的第一边、以及向第二方向延伸的第二边。第二边比第一边更长。第二方向与第一方向正交。连结部将激振部的第一边与框部予以连结。连结部的厚度比框部的厚度更薄。在连结部、与连结部与激振电极之间的区域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。激振电极配置在连结部的第二方向。突起部的第一方向的长度是:与连结部的第一方向的长度相同、或为连结部的第一方向的长度以上。一种压电振动片，包括:矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域；连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结；以及突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述第一框体的所述第二方向的长度是:比所述第一区域的所述第二方向的长度更长，所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。一种压电振动片，包括:矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，将所述激振部予以包围；连结部，将所述激振部的所述第一边与所述框部予以连结，且所述连结部的厚度比所述框部的厚度更薄；以及突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。一种压电元件，包括:所述的压电振动片；盖板，接合于所述压电振动片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合于所述压电振动片的所述框部的另一方的主面。一种压电振动片，包括:矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域；以及连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结，所述第一框体的所述第二方向的长度是:比所述第一区域的所述第二方向的长度更长。一种压电元件，包括:所述的压电振动片；盖板，接合于所述压电振动片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合于所述压电振动片的所述框部的另一方的主面。附图说明根据以下附图的详细说明，本专利技术的所述及其他特征、特性将变得更明确，其中:图1是压电元件100的分解立体图。图2是图1的I1-1I剖面的剖面图。图3A是压电振动片130的平面图。图3B是图3A的IIIB-1IIB剖面图。图4A是未形成有电极的压电振动片130的平面图。图4B是图4A的虚线161所包围的区域的放大平面图。图4C是压电振动片130的短边弯曲的模拟结果。图5A是表示激振部131的应力分布的图。图5B是表示台面区域131a的中心点139a及激振部131的-X轴侧的端部的端点139b处的短边弯曲的应力的图。图6A是压电振动片230的剖面图。图6B是压电振动片330的剖面图。图7A是未形成有电极的压电振动片430的平面图。图7B是压电振动片430的短边弯曲的模拟结果。图8A是表示激振部431的应力分布的图。图8B是表示台面区域131a的中心点439a及激振部431的-X轴侧的端点439b处的短边弯曲的应力的图。图9A是未形成有电极的压电振动片530的平面图。图9B是压电振动片530的短边弯曲的模拟结果。图1OA是未形成有电极的压电振动片630的平面图。图1OB是未形成有电极的压电振动片730的平面图。图11是压电元件1100的分解立体图。图12是图11的XI1-XII剖面的剖面图。图13A是压电振动片1130的平面图。图13B 是图 13A 的 XIIIB-XIIIB 剖面图。图14A是未形成有电极的压电振动片1130的平面图。图14B是压电振动片1130的短边弯曲的模拟结果。图15A是表示激振部1131的应力分布的图。图15B是表示台面区域1131a的中心点1139a及激振部1131的-X轴侧的端点1139b处的短边弯曲的应力的图。图16A是未形成有电极的压电振动片1230的平面图。图16B是图16A的虚线1161所包围的区域的放大平面图。图16C是压电振动片1230a的XVIC-XVIC剖面图。图17A是未形成有电极的压电振动片1330的平面图。图17B是图17A的虚线1162所包围的区域的放大平面图。图17C是以曲面进行倒角的第一区域1337a的平面图。图18A是未形成有电极的压电振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动片，其特征在于包括：矩形形状的激振部，包含：两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含：第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域；连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结；以及突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述第一框体的所述第二方向的长度是：比所述第一区域的所述第二方向的长度更长，所述突起部的所述第一方向的长度是：与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。

【技术特征摘要】
2011.11.02 JP 2011-240799;2011.11.02 JP 2011-24081.种压电振动片，其特征在于包括: 矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边； 框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域； 连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结；以及 突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出， 所述第一框体的所述第二方向的长度是:比所述第一区域的所述第二方向的长度更长， 所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。2.种压电振动片，其特征在于包括: 矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边； 框部，将所述激振部予以包围； 连结部，将所述激振部的所述第一边与所述框部予以连结，且所述连结部的厚度比所述框部的厚度更薄；以及 突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出， 所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。3.据权利要求2所述的压电振动片，其特征在于: 所述连结部连结于所述激振部的所述第一边的中央。4.据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：有路巧，高桥岳宽，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：