压电振动片以及压电元件制造技术

本发明专利技术提供一种压电振动片以及压电元件，该压电振动片的朝向激振部的应力的影响已受到抑制。压电振动片包括：矩形形状的激振部，在两个主面形成有一对激振电极，且激振部包含在第一方向延伸的第一边、及比第一边更长且在第二方向延伸的第二边，所述第二方向与第一方向正交；框部，将激振部予以包围；以及连结部，将激振部与框部予以连结，连结部具有第三边与第四边，且连结部的厚度比框部的厚度更薄，所述第三边连接于第一边且在第一方向延伸，所述第四边连接于框部且在第一方向延伸，第三边与第四边的长度不同。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种压电振动片(piezoelectric vibrating pieces)以及压电元件(piezoelectric device),所述压电振动片的朝向激振部的应力的影响已受到抑制。
技术介绍
如下的压电振动片已为人所知，该压电振动片包括:激振部，以规定的频率发生振动；框部，将激振部的周围予以包围；以及连结部，将激振部及框部予以连结。在此种压电振动片中，将盖板(lid plate)以及基底板(base plate)接合于框部的表面背面，从而形成压电元件，该压电元件是安装于印刷(print)基板等而被使用。此种压电元件有时会承受施加至印刷基板的应力，且施加至压电元件的应力会对压电振动片产生影响，使激振部的振动频率的特性发生变化。对于如上所述的问题，例如在专利文献I中表示了如下的内容:在连结部形成锯齿状的缺口，借此，期待使从框部向激振部传递的应力缓和。另外，表示了如下的内容:当缺口的深度为框部的一半以上，且框部与激振部未呈直线地被连结时，热或应力的实质性的传递距离增加，从而会发挥大的缓和效果。现有技术文献专利文献专利文献I日本专利特开2007-214942号公报然而，考虑到专利文献I所揭示的压电振动片是在连结部形成缺口，因此，对于由落下引起的冲击等的耐受性变弱。特别是还存在如下的情况，即，最近的压电振动片已变薄以使压电元件实现小型化，有可能因在压电振动片中的耐冲击性最弱的连结部形成缺口而使耐冲击性下降。另外，在专利文献I中揭示有如下的两端固定型的压电振动片，该两端固定型的压电振动片在激振部的相向的边上，分别形成有连结部，但对于将连结部仅连结于激振部的一条边的悬臂型的压电振动片而言，耐冲击性变得更弱。因此，针对压电振动片，还希望对于激振部的应力的影响受到抑制，并且具有充分的耐冲击性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种压电振动片以及压电元件，使所述压电振动片的连结部的激振部侧的边及框部侧的边形成为不同的长度，借此，抑制对于激振部的应力的影响。第一观点的压电振动片包括:矩形形状的激振部，在两个主面形成有一对激振电极，且激振部包含在第一方向延伸的第一边、及比第一边更长且在第二方向延伸的第二边，所述第二方向与第一方向正交；框部，将激振部予以包围；以及连结部，将激振部与框部予以连结，连结部具有第三边与第四边、且连结部的厚度比框部的厚度更薄，所述第三边连接于第一边且在第一方向延伸，所述第四边连接于框部且在第一方向延伸，第三边与第四边的长度不同。根据第一观点，对于第二观点的压电振动片而言，连结部为一个，且连结部是连结于激振部的第一边的中央。根据第一观点及第二观点，对于第三观点的压电振动片而言，激振部包括:台面(mesa)区域与周边区域，所述台面区域形成有激振电极，所述周边区域形成在台面区域的周围，且周边区域的厚度比台面区域的厚度更薄。根据第三观点，对于第四观点的压电振动片而言，周边区域的厚度比连结部的厚度更薄。根据第三观点，对于第五观点的压电振动片而言，周边区域的厚度与连结部的厚度相等。根据第一观点至第五观点，对于第六观点的压电振动片而言，连结部是包含曲线或折线而形成，所述曲线或折线将第三边的端部与第四边的端部予以连接、且向连结部侧凹陷。根据第一观点至第四观点，对于第七观点的压电振动片而言，在连结部的第一方向侧的侧面形成有辅助连结部，该辅助连结部将激振部与框部予以连结，且辅助连结部的厚度比连结部的厚度更薄。根据第七观点，对于第八观点的压电振动片而言，补助连结部的厚度与包含第一边的激振部的厚度相等。第九观点的压电元件包括:第一观点至第八观点的压电振动片；盖板，接合于压电振动片的框部的一方的主面；以及基底板，接合于压电振动片的框部的另一方的主面。专利技术的效果根据本专利技术的压电振动片以及压电元件，可抑制对于激振部的应力的影响。附图说明图1是压电元件100的分解立体图。图2是图1的A-A剖面的剖面图。图3(a)是压电振动片130的平面图。图3 (b)是图3 (a)的B-B剖面图。图4(a)是未形成有电极的压电振动片130的平面图。图4 (b)是压电振动片130的短边弯曲的模拟结果。图5(a)是表不压电振动片130的激振部131的应力分布的图。图5 (b)是表示台面区域131a的中心点139a及激振部131的-X轴侧的端部的点139b处的、短边弯曲时的t轴方向的应力的图。图6(a)是未形成有电极的压电振动片230的平面图。图6 (b)是图6 (a)的C-C剖面图。图6 (C)是图6 (a)的D-D剖面图。图7(a)是未形成有电极的压电振动片330的平面图。图7(b)是图7(a)的虚线161的放大图。图7 (C)是连结部333b的平面图。图8(a)是未形成有电极的压电振动片430的平面图。图8(b)是压电振动片430的短边弯曲的模拟结果。图9 (a)是表示压电振动片430的激振部131的应力分布的图。图9(b)是表示压电振动片430的台面区域131a的中心点139a及激振部131的-X轴侧的端点139b处的、短边弯曲时的t轴方向的应力的图。图10 (a)是压电振动片430落下时所施加的应力的模拟结果。图10(b)是表示压电振动片130及压电振动片430落下时所施加的最大应力的大小的图。附图标记:100:压电元件101:模腔110:盖板111、121:凹部112、122:接合面120:基底板123:连接电极124:外部电极125:城堡形电极126:城堡形部分130、230、330、430:压电振动片131:激振部131a:台面区域131b:周边区域132:框部133,233,333a,333b,433:连结部134:激振电极135:引出电极136:贯通孔137a、137b:角部138a:第一边138b:第二边138c,438c:第三边138d、438d:第四边138e:折线138f:曲线139:直线139a:中心点/点139b:端点 / 点141:密封材料161:虚线233a:补助连结部A-A D-D:剖面LA、LR、LS、WA、WRl WR4、WS:长度Tl T3:厚度\、V 'V:轴方向具体实施例方式以下，基于附图来详细地对本专利技术的较佳实施方式进行说明。再者，关于本专利技术的范围，在以下说明中只要无特别限定本专利技术的内容记载，则并不限于这些方式。第一实施方式压电元件100的构成图1是压电元件100的分解立体图。压电元件100包含:盖板110、基底板120、以及压电振动片130。压电振动片130中，例如使用AT切割的晶体振动片。AT切割的晶体振动片的主面(YZ面)相对于结晶轴(XYZ)的Y轴，以X轴为中心，从Z轴向Y轴方向倾斜35度15分。在以下的说明中，以AT切割的晶体振动片的轴方向为基准，使用倾斜的新的轴作为r轴以及Zi轴。即，压电元件loo中，将压电元件loo的长边方向作为X轴方向，将压电元件100的高度方向作为Γ轴方向，将与X轴方向及V轴方向垂直的方向作为t轴方向来进行说明。压电振动片130包含:激振部131，以规定的频率发生振动，且形成为四边形状；框部132，将激振部131予以包围；以及一个连结部133，将激振部131与框部132予以连结。激振部131与框部132之间的连结部133以外的区域成为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动片，其特征在于包括：矩形形状的激振部，在两个主面形成有一对激振电极，且所述激振部包含：在第一方向延伸的第一边、及比所述第一边更长且在第二方向延伸的第二边，所述第二方向与所述第一方向正交；框部，将所述激振部予以包围；以及连结部，将所述激振部与所述框部予以连结，所述连结部具有第三边与第四边，且所述连结部的厚度比所述框部的厚度更薄，所述第三边连接于所述第一边且在所述第一方向延伸，所述第四边连接于所述框部且在所述第一方向延伸，所述第三边与所述第四边的长度不同。

【技术特征摘要】
2011.11.02 JP 2011-2408011.一种压电振动片，其特征在于包括: 矩形形状的激振部，在两个主面形成有一对激振电极，且所述激振部包含:在第一方向延伸的第一边、及比所述第一边更长且在第二方向延伸的第二边，所述第二方向与所述第一方向正交； 框部，将所述激振部予以包围；以及 连结部，将所述激振部与所述框部予以连结，所述连结部具有第三边与第四边，且所述连结部的厚度比所述框部的厚度更薄，所述第三边连接于所述第一边且在所述第一方向延伸，所述第四边连接于所述框部且在所述第一方向延伸， 所述第三边与所述第四边的长度不同。2.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于: 所述连结部为一个，且 所述连结部连结于所述激振部的所述第一边的中央。3.根据权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于: 所述激振部包括:台面区域与周边区域， 所述台面区域形成有所述激振电极， 所述周边区域形成在所述台面区域的周围，且所述周边区域的厚度比...

【专利技术属性】
技术研发人员：有路巧，高桥岳宽，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：