压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟制造技术

本发明专利技术提供能抑制振动臂部的厚度方向的振动并抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片、用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。压电振动片（4）具备：并列配置的一对振动臂部（10、11）；形成在振动臂部（10、11）的两主面上并沿着振动臂部（10、11）的Y方向（长度方向）延伸的槽部（51）；以及连接有一对振动臂部（10、11）的基部（12），其特征在于：在槽部（51）内形成有从－Y侧（基端侧）的壁面向＋Y侧（前端侧）延伸的肋部（53）。

【技术实现步骤摘要】
压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、用该压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。
技术介绍
在便携电话、便携信息终端设备上，采用利用水晶（石英）等作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等的压电振动器。对于这种压电振动器，已提供各式各样的压电振动器，但作为其中之一，已知将所谓的音叉型压电振动片封入封装件（package）的压电振动器。音叉型压电振动片是具有在宽度方向并列配置的一对振动臂部和将一对振动臂部的长度方向的基端侧固定成一体的基部的薄板状的水晶片。当电压施加到形成在各振动臂部的激振电极时，该压电振动片在宽度方向以既定的谐振频率以使一对振动臂部接近及分离的方式进行振动。近年来，随着所搭载的设备的小型化，希望压电振动片的更进一步的小型化。作为将压电振动片的CI值（晶体阻抗：CrystalImpedance）抑制在低水平并谋求压电振动片的小型化的方法，在振动臂部的两主面形成槽部的方法已被广为人知（例如，参照专利文献1）。专利文献1中记载的压电振动片，具备基部和从所述基部突出地形成的多个振动臂部，在各振动臂部的表面部及背面部，形成有槽部。因为槽部，与振动臂部的长度方向垂直的截面形状成为大致H型。专利文献专利文献1：日本特开2003－92530号公报。图15是压电振动片4的正常的振动状态的说明图。图16是现有技术的压电振动片4的说明图。此外，在图15及图16中，以压电振动片4的宽度方向为X方向、以长度方向为Y方向、以厚度方向为Z方向进行说明。此外，在图15及图16中，为了便于理解附图，夸张地表现振动臂部10、11的振动幅度。在压电振动片4形成槽部51的情况下，较之未形成槽部51的情况，与振动臂部10、11的Y方向垂直的截面的面积（以下称为“振动臂部10、11的截面积”）变小，振动臂部10、11的对应Z方向的弯曲刚性下降。因此，如果使压电振动片4工作，振动臂部10、11不仅做图15所示的正常的X方向的弯曲振动，而且如图16所示，因为Z方向的弯曲刚性的下降而还在Z方向进行弯曲振动。具体而言，如图16所示，有可能在Z方向上第一振动臂部10和第二振动臂部11错乱成相反相位进行振动。该振动臂部10、11的Z方向的振动有可能关系到CI值的上升或压电振动片4的振动泄漏到外部的所谓振动泄漏。
技术实现思路
于是，本专利技术的课题是提供能够抑制振动臂部厚度方向的振动并抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片、用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。为了解决上述课题，本专利技术的压电振动片，具备：并列配置的一对振动臂部；形成在所述振动臂部的两主面上并且沿着所述振动臂部的长度方向延伸的槽部；以及连接有所述一对振动臂部的基部，其特征在于，在所述槽部内形成有肋部，该肋部从所述长度方向的基端侧及所述长度方向的前端侧的任意一侧的壁面，朝着所述基端侧及所述前端侧的任意另一侧延伸。根据本专利技术，通过在槽部内形成肋部能够增大振动臂部的截面积。由此，比现有技术能够将振动臂部的对应厚度方向的弯曲刚性确保在较高水平，因此在使压电振动片工作时，能够抑制振动臂部在厚度方向的振动。因而，能够得到能够抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片。此外，通过将振动臂部的弯曲刚性确保在较高水平，即便压电振动片掉落等而受碰撞的情况下，也能防止振动臂部的破损。此外，本专利技术的特征在于：所述肋部从所述基端侧的壁面朝着所述前端侧延伸。根据本专利技术，由于在槽部内肋部从基端侧的壁面朝着前端侧延伸，所以能够增大振动臂部的基端侧的截面积。由此，能够将振动臂部的基端侧的弯曲刚性确保在较高水平，并且能够抑制振动臂部全体以基部和振动臂部的连接部分附近为拐点在厚度方向振动。因而，能够有效抑制CI值的上升、振动泄漏。此外，在压电振动片受到碰撞的情况下，在应力容易作用的基部和振动臂部的连接部分确保弯曲刚性，因此能够可靠地防止振动臂部的破损。此外，本专利技术的特征在于：所述振动臂部在所述基端侧的所述肋部的宽度，形成为大于所述振动臂部在所述前端侧的所述肋部的宽度。根据本专利技术，振动臂部在基端侧的肋部的宽度，形成为大于振动臂部在前端侧的肋部的宽度，因此能够增大振动臂部的基端侧的截面积。由此，能够进一步提高振动臂部在基端侧的弯曲刚性，因此能够进一步抑制振动臂部在厚度方向的振动。此外，即便在振动臂部受到碰撞的情况下，也能进一步防止振动臂部的破损。此外，振动臂部在前端侧的肋部的宽度，形成为小于振动臂部在基端侧的肋部的宽度，因此确保振动臂部在前端侧的槽部的截面积，大于振动臂部在基端侧的槽部的截面积。由此，能够有效地使振动臂部的前端侧在宽度方向上振动，因此提高电场效率而能够提高压电振动片的振动特性。如此，通过将振动臂部在基端侧的肋部的宽度形成得大于振动臂部在前端侧的肋部的宽度，能够兼顾地提高振动臂部在基端侧的弯曲刚性及压电振动片的振动特性。此外，本专利技术的特征在于：所述振动臂部在所述基端侧的所述槽部的宽度，形成为小于所述振动臂部在所述前端侧的所述槽部的宽度。根据本专利技术，由于在振动臂部的基端侧中，振动臂部的侧面和槽部侧面的宽度形成得较宽，所以能够使振动臂部的基端侧的截面积大于振动臂部的前端侧的截面积。由此，能够进一步提高振动臂部的基端侧的弯曲刚性，因此能够进一步抑制振动臂部在厚度方向的振动。此外，即便在振动臂部受到碰撞的情况下，也能可靠地防止振动臂部的破损。特别是，通过将基端侧的肋部的宽度形成为比前端侧的肋部的宽度大，并且将基端侧的槽部的宽度形成为比前端侧的槽部的宽度小，能够大幅提高振动臂部的基端侧的弯曲刚性。由此，能够可靠地抑制振动臂部在厚度方向的振动，并能可靠地抑制CI值的上升、振动泄漏。此外，本专利技术的特征在于：所述槽部的宽度形成为沿着所述振动臂部的长度方向恒定。根据本专利技术，能以极短的距离对置地配置振动臂部的侧面和槽部的侧面。由此，在对振动臂部的侧面和槽部的侧面分别形成的电极（激振电极）施加电压时，由于有效地在振动臂部的侧面与槽部的侧面之间形成电场，所以能有效地使振动臂部在宽度方向上振动。特别是，通过将基端侧的肋部的宽度形成为比前端侧的肋部的宽度大，并将槽部的宽度形成为沿着振动臂部的长度方向恒定，能够提高振动臂部的基端侧的弯曲刚性，并能形成损失较少的压电振动片。此外，本专利技术的压电振动器，其特征在于：具备上述的压电振动片。根据本专利技术，由于具备能抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片，能够提供高效率且消耗电力较少的压电振动器。此外，本专利技术的振荡器，其特征在于：上述的压电振动器，作为振子与集成电路电连接。本专利技术的电子设备，其特征在于：上述的压电振动器与计时部电连接。本专利技术的电波钟，其特征在于：上述的压电振动器与滤波部电连接。根据本专利技术，能够提供高效率且消耗电力较少的高性能的振荡器、电子设备及电波钟。根据本专利技术，通过在槽部内形成肋部，能够增大振动臂部的截面积。由此，比现有技术能够将振动臂部对应厚度方向的弯曲刚性确保在较高水平，因此在使压电振动片工作时，能够抑制振动臂部在厚度方向的振动。因而，能够得到能抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片。此外，通过将振动臂部的弯曲刚性确保在较高水平，即便在压电振动片掉落等而受到碰撞的情况下，也能防止振动臂部的破损。附图说明图1是压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动片，具备：并列配置的一对振动臂部；形成在所述振动臂部的两主面上并且沿着所述振动臂部的长度方向延伸的槽部；以及连接有所述一对振动臂部的基部，所述压电振动片的特征在于：在所述槽部内形成有肋部，该肋部从所述长度方向的基端侧及所述长度方向的前端侧的任意一侧的壁面，朝着所述基端侧及所述前端侧的任意另一侧延伸。

【技术特征摘要】
2011.09.28 JP 2011-2130181.一种压电振动片，具备：在宽度方向并列配置的一对振动臂部；形成在所述振动臂部的两主面上并且沿着所述振动臂部的长度方向延伸的槽部；以及连接有所述一对振动臂部的基部，所述压电振动片的特征在于：在所述槽部内形成有肋部，该肋部从所述长度方向的基端侧及所述长度方向的前端侧的任意一侧的壁面，朝着所述基端侧及所述前端侧的任意另一侧延伸，所述振动臂部在所述基端侧的所述肋部的宽度，形成为大于所述振动臂部在所述前端侧的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：峰岸孝，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：