压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟制造技术

本发明专利技术提供一种压电振动片（1），其中包括：互相平行地配置的一对振动臂部（10、11）；和将一对振动臂部在长度方向上的基端部（10a、11a）侧固定成一体的基部（12），在一对振动臂部的主面，形成有位于振动臂部的基端部侧的第一槽部（18）、和相对于第一槽部位于振动臂部的前端部侧的第二槽部（19），第一槽部形成为在振动臂部的主面上沿着与振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度窄于第二槽部，在第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出的加强肋（20）。从而能够抑制刚性下降的同时谋求小型化，并且防止输出信号品质的下降。

【技术实现步骤摘要】
压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。
技术介绍
在便携电话、便携信息终端设备上，采用利用水晶（石英）等作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等的压电振动器。已提供各式各样的这种压电振动器，但作为其中之一，众所周知具有所谓音叉型压电振动片的压电振动器。音叉型振动片具有平行配置的一对振动臂部和支撑一对振动臂部的基端部的基部的结构。而且，在压电振动片的表面形成有电极膜，通过对该电极膜施加电压，能够使一对振动臂部以既定的谐振频率在互相接近或分离的方向上振动。然而，近年来，随着压电振动器搭载的设备的小型化，希望压电振动片小型化。但是，例如收窄振动臂部的宽度时，形成在振动臂部上的电极膜（激振电极）的形成宽度也变小，其等效串联电阻值（晶体阻抗（CrystalImpedance）：CI值）上升而会使输出信号的品质恶化。此外，一对振动臂部振动的谐振频率F可用F＝k（W/L2）表示（k：系数；w：振动臂部的宽度；L：振动臂部的长度）。因此，在改变振动臂部的长度或宽度时，谐振频率F会偏移。因而，为了实现压电振动片的小型化，要考虑使该谐振频率不偏移的同时进行小型化。因此，众所周知在减小振动臂部的宽度时，在振动臂部的上下表面形成槽部的方案（例如，参照专利文献1）。在形成槽部的情况下，成对的激振电极彼此在槽部的两侧对置，因此能够使电场有效率地作用于其对置方向。由此，即便缩小振动臂部的宽度，也能提高电场效率，并能提高品质的同时谋求小型化。专利文献专利文献1：日本特开2009－81520号公报。但是，如果在振动臂部形成槽部，就会降低振动臂部的刚性。特别是，在振动臂部的基端部和基部的连接部附近形成槽部的情况下，振动臂部得不到充分的强度，进而在该部分容易发生应力集中。因此，当外部撞击等作用于压电振动片时，会以振动臂部的基端部和基部的连接部附近为起点发生断裂等。此外，在振动臂部的宽度相同的情况下，电场效率会与槽部的宽度增大成比例地升高，但其反面，槽部的宽度越大，振动臂部在扭转方向、厚度方向的刚性会下降，越容易发生变形。其结果，有可能会激励出以与希望的振动模式不同的振动模式的振动，这也与输出信号品质的下降相关。
技术实现思路
为此而完成的本专利技术的目的在于提供在抑制刚性下降的同时能谋求小型化并能防止输出信号品质的下降的压电振动片、具备该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。为了解决上述课题，本专利技术采用以下方案。本专利技术的压电振动片，其特征在于，具备：互相平行地配置的一对振动臂部；以及将所述一对振动臂部的长度方向上的基端部侧固定成一体的基部，在所述一对振动臂部的主面，形成有位于所述振动臂部的所述基端部侧的第一槽部、和相对于所述第一槽部位于所述振动臂部的前端部侧的第二槽部，在所述振动臂部的主面上，所述第一槽部形成为沿着与所述振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度小于所述第二槽部，在所述第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出的加强肋。根据本专利技术，由于形成在振动臂部的基端部侧的第一槽部的宽度形成得小于第二槽部，所以能够提高振动臂部在基端部上的刚性。由此，能够抑制应力集中到振动臂部的基端部。此外，在第二槽部内形成有加强肋，提高振动臂部在厚度方向、扭转方向的刚性。因此，能够抑制振动臂部全体的刚性下降，并能防止在振动臂部中发生不需要的振动。因而，在谋求振动臂部的小型化的同时，还防止压电振动片的断裂等而能得到高的可靠性，并且抑制发生不需要的振动（以与希望的振动模式不同的振动模式进行的振动），能够抑制输出信号的品质下降。此外，在本专利技术的压电振动片中，优选将第一槽部形成为其沿着振动臂部的长度方向的长度短于第二槽部。在这种情况下，能更容易提高振动臂部在基端部上的刚性，并能抑制应力集中到振动臂部的基端部。此外，在本专利技术的压电振动片中，优选所述第一槽部和所述第二槽部夹着分割壁沿着所述振动臂部的长度方向形成，所述分割壁沿着所述振动臂部的宽度方向，从所述振动臂部的前端部侧向基端部侧倾斜地设置。在这种情况下，分割壁不仅具有宽度方向部分而且具有长度方向部分，因此会作为对振动臂部厚度方向的振动的加强部分而做贡献。因而，能有效地抑制振动臂部厚度方向的振动，更加容易抑制不需要的振动的发生。此外，在本专利技术的压电振动片中，优选以连结所述第二槽部中的、所述振动臂部的基端部侧的一端和所述振动臂部的前端部侧的另一端之间的方式，在第二槽部内沿着所述振动臂部的长度方向延伸设置所述加强肋。此外，在本专利技术的压电振动片中，优选在所述第二槽部内，沿着所述振动臂部的长度方向间歇地设置所述加强肋。此外，在本专利技术的压电振动片中，优选在所述第二槽部内，以在所述振动臂部的宽度方向上横架在该第二槽部的方式沿着宽度方向延伸设置所述加强肋。在这种情况下，通过加强肋进一步提高振动臂部在厚度方向、扭转方向上的刚性。特别是，通过改变加强肋的设置长度、设置间隔、设置方式等，能够适宜调整振动臂部的刚性。此外，本专利技术的压电振动器，其特征在于：具有上述本专利技术的压电振动片。依据该结构，由于具备上述本专利技术的压电振动片，能够提供具有高的强度的同时具有高的性能的压电振动器。因而，即便将压电振动器小型化，也能得到高的可靠性及高的振动特性。此外，本专利技术涉及的振荡器，其特征在于：上述本专利技术的压电振动器，作为振子与集成电路电连接。此外，本专利技术涉及的电子设备，其特征在于：上述本专利技术的压电振动器与计时部电连接。此外，本专利技术涉及的电波钟，其特征在于：上述本专利技术的压电振动器与滤波部电连接。依据该结构，由于具备上述本专利技术的压电振动器，能够提供具有高的可靠性及高的性能的振荡器、电子设备、电波钟。根据本专利技术，能抑制刚性下降的同时能谋求小型化，并且能够防止输出信号品质的下降。附图说明图1是压电振动片的俯视图；图2是图1所示的压电振动片的截面向视A－A图及B－B图；图3是示出压电振动片的第一变形例的图，并且是示出在第二槽部的长度方向上间歇地设置加强肋的例子的图；图4是示出压电振动片的第二变形例的图，并且是示出倾斜地设置第一槽部与第二槽部之间的壁部的例子的图；图5是示出压电振动片的第三变形例的图，并且是示出改变第一槽部的宽度后的例子的图；图6是示出压电振动片的第四变形例的图，并且是示出设置多个加强肋的例子的图；图7是示出压电振动片的第五变形例的图，并且是示出在基部设置切口的例子的图；图8是示出压电振动片的第六变形例的图，并且是示出放大振动臂部的前端部的宽度的例子的图；图9是示出压电振动片的第七变形例的图，并且是示出以阶梯状放大基部的宽度的例子的图；图10是示出压电振动片的第八变形例的图，并且是示出在基部设置侧臂的例子的图；图11是示出压电振动片的第九变形例的图，并且是示出在基部设置切口和侧臂的例子的图；图12是示出压电振动片的第十变形例的图，并且是示出在基部设置切口、台阶部、及侧臂的例子的图；图13是示出本专利技术涉及的压电振动器的一实施方式的外观立体图；图14是图13所示的压电振动器的内部结构图，并且是在取下盖基板后的状态下从上方观察压电振动片的图；图15是沿着图14所示的C－C线的压电振动器的剖视图；图16是图13所示的压电振动器的分解立体图；图17是示出本专利技术涉及的振荡器的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动片，其特征在于，具备：互相平行地配置的一对振动臂部；以及将所述一对振动臂部的长度方向上的基端部侧固定成一体的基部，在所述一对振动臂部的主面，形成有位于所述振动臂部的所述基端部侧的第一槽部、和相对于所述第一槽部位于所述振动臂部的前端部侧的第二槽部，在所述振动臂部的主面上，所述第一槽部形成为沿着与所述振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度小于所述第二槽部，在所述第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出的加强肋。

【技术特征摘要】
2011.09.28 JP 2011-2130191.一种压电振动片，其特征在于，具备：互相平行地配置的一对振动臂部；以及将所述一对振动臂部的长度方向上的基端部侧固定成一体的基部，在所述一对振动臂部的主面，形成有位于所述振动臂部的所述基端部侧的第一槽部、和相对于所述第一槽部位于所述振动臂部的前端部侧的第二槽部，在所述振动臂部的主面上，所述第一槽部形成为沿着与所述振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度小于所述第二槽部，在所述第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出并且具有与所述第一槽部两侧的壁部的高度相同的高度的加强肋，所述第一槽部和所述第二槽部夹着分割壁而沿着所述振动臂部的长度方向形成，在所述振动臂部的宽度方向，所述第一槽部的两侧的臂部大于所述第二槽部的两侧的壁部。2.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：所述第一槽部形成为使沿着所述振动臂部的长度方向的长度短于所述第二槽部。3.根据权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于：所述分割壁沿着所述振动臂部的宽度方向从所述振动臂部的前端部侧向基端部侧倾斜地设置。4.根据权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于：所述加强肋在第二槽部内沿着所述振动臂部的长度方向延伸设置，以在所述第二槽部中连结所述振动臂部的基端部侧的一端和所述振动臂部的前端部侧的另一端之间。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：有松大志，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：