压电振子以及压电振动装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及压电振子以及压电振动装置。在压电振子中，使静电电容比较大，并且，抑制杂散电容的影响。压电振子(120A)是具有彼此以相反相位振动的第一以及第二振动部的压电振子(120A)，第一以及第二振动部的每个具备硅层(220)、配设在硅层(220)之上的第一压电层(224)、配设在第一压电层(224)之上的第一电极(222)、配设在第一电极(222)之上且具有与第一压电层(224)相反方向的极化的第二压电层(225)、以及配设在第二压电层(225)之上的第二电极(223)，构成为对第一振动部的第一电极(222)和第二振动部的第二电极(223)施加第一电位，并对第一振动部的第二电极(223)和第二振动部的第一电极(222)施加第二电位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201580003668

【技术保护点】
一种压电振子，是具有彼此以相反相位振动的第一振动部以及第二振动部的压电振子，其中，所述第一振动部以及所述第二振动部的每个具备：硅层；第一压电层，被配设在所述硅层之上；第一电极，被配设在所述第一压电层之上；第二压电层，被配设在所述第一电极之上，并具有与所述第一压电层相反方向的极化；以及第二电极，被配设在所述第二压电层之上，构成为对所述第一振动部的所述第一电极和所述第二振动部的所述第二电极施加第一电位，并对所述第一振动部的所述第二电极和所述第二振动部的所述第一电极施加第二电位。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.24 US 61/931,1601.一种压电振子，是具有彼此以相反相位振动的第一振动部以及第二振动部的压电振子，其中，所述第一振动部以及所述第二振动部的每个具备：硅层；第一压电层，被配设在所述硅层之上；第一电极，被配设在所述第一压电层之上；第二压电层，被配设在所述第一电极之上，并具有与所述第一压电层相反方向的极化；以及第二电极，被配设在所述第二压电层之上，构成为对所述第一振动部的所述第一电极和所述第二振动部的所述第二电极施加第一电位，并对所述第一振动部的所述第二电极和所述第二振动部的所述第一电极施加第二电位。2.根据权利要求1所述的压电振子，其中，还具备由硅形成的保持部，所述第一振动部形成从所述保持部沿规定方向延伸的矩形状的第一振动臂，所述第二振动部形成从所述保持部沿所述规定方向延伸的矩形状的第二振动臂，所述第一振动臂以及所述第二振动臂构成为在与包括所述第一振动臂以及所述第二振动臂的平面垂直的方向彼此以相反相位振动。3.根据权利要求1所述的压电振子，其中，还具备由硅形成的保持部...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村俊雄，梅田圭一，维莱·卡亚卡里，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP