【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制备p型铜、钴共掺氧化锌薄膜的方法,其特征在于由以下工艺步骤实现:(a)以Zn(NO3)2·6H2O,Cu(CH3COO)2·9H2O,Co(NO3)2·6H2O和聚乙烯吡咯烷酮为原料,以无水乙醇为溶剂,按一定比例配置成溶胶,使得Co2+浓度保持在0.001~0.002mol/l,调节Cu2+离子的浓度为0.001~0.003mol/l;(b)经步骤(a)所配成的溶胶在2000转/分钟的转速下在清洗过的衬底上旋涂成膜,把所得薄膜放入100℃的烘箱中10min,以除去有机溶剂;(c)然后把经步骤(b)的薄膜在300℃~400℃下氧气气氛中热处理20min,除去薄膜中的有机成分,重复3~12次,以得到需要的厚度;(d)最后经过步骤(c)的薄膜在700℃~900℃的高温晶化1h,得到所需样品。
【技术特征摘要】
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