【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种浸润液,其特征在于,所述浸润液由DRIWEL润湿原液和去离子水组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱国伟,宋矿宝,
申请(专利权)人:无锡华润华晶微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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