多晶硅行业废气液焚烧处理后回收二氧化硅的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种多晶硅行业废气废液焚烧处理后干法回收二氧化硅的装置，烟气输送管与两台并联连接的金属滤芯式过滤器的烟气入口端相接，金属滤芯式过滤器的粉体出口端安装有卸料阀，卸料阀通过管道接负压输送管道的中段，负压输送管道的进口端设有进风过滤器，粉体收集器的粉体出口端与脱气器的入口端相接，脱气器的出口端与密封包装机的入口端相接；将反吹气体储气包的出口端通过管道与两台并联连接的金属滤芯式过滤器的反吹气体入口端相接，反吹气体储气包外装有储气包伴热系统；本实用新型专利技术在集中处理废气废液达到环保要求的同时，有效回收气相二氧化硅，并形成产业化，创造更高的经济价值。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅领域，尤其是一种多晶硅行业的废气、废液焚烧处理后干法回收二氧化硅的方法。
技术介绍
高纯多晶硅是当今发展微电子产业和太阳能产业的重要基础原材料。是跨化工、 冶金、机械、电子等多学科、多领域的高新技术产品。目前，随着全球微电子产业和光伏产业的迅猛发展，特别是受光伏产业的强劲拉动，多晶硅市场国内一直供不应求。为此，近年来国内形成多晶硅热，许多大的多晶硅项目已经上马或即将上马。据不完全统计，我国正在建设或即将建设的多晶硅企业有60家以上，产能达到10吨、从2005年国内多晶硅产量不足百吨到2010年国内多晶产量将达到3. 5 万吨左右，可以说发展是飞速的。随着国内多晶硅产业飞速发展，规模、产量的不断扩大，随之而来的多晶硅生产过程中排出的废气、废液和副产物的安全和环保问题日益突出。由于国内尚未完全掌握多晶硅生产的核心技术，消耗指标普遍比国外高，以每生产Ikg多晶硅消耗液氯为例。国外 0. 4^0. Wcg，国内消耗2kg或更高，加重了废气、废液的处理量和难度，更凸显出污染物综合治理的重要性。在多晶硅生产中，废气、废液的主要成分是三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅等氯硅烷。还有少本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅行业废气废液焚烧处理后回收二氧化硅的装置，其特征是：烟气输送管与两台并联的金属滤芯式过滤器（１）的烟气入口端相接，金属滤芯式过滤器（１）的粉体出口端安装有卸料阀（１６），卸料阀（１６）通过管道接负压输送管道（１７）的中段，负压输送管道（１７）的进口端设有进风过滤器（１８），负压输送管道（１７）的出口端与粉体收集器（１２）的粉体入口端相接，粉体收集器（１２）的粉体出口端与脱气器（１３）的入口端相接，脱气器（１３）的出口端与密封包装机（１５）的入口端相接，在粉体收集器（１３）上连接有罗茨风机（１４）；将反吹气体储气包（６）的出口端通过管道与两台并联连接的金属滤芯式过滤器（１）的反吹气...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姜静，王绍祖，唐明元，王忠群，
申请(专利权)人：飞潮无锡过滤技术有限公司，陕西天宏硅材料有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：32