一种硅铝复合抛光液的制作方法技术

本发明专利技术公开了一种硅铝复合抛光液的制作方法，包括如下制作过程：将80-100nm的大粒径硅溶胶（二氧化硅含量40%）800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去离子水150-180份，整到黏度在2-5厘泊之间；然后加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅30%的抛光液；将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19）∶1与100-200nm的氧化铝抛光液混合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。通过上述方式，本发明专利技术可以得到一种具有较高稳定性的抛光液，既能使加工件达到一定的表面状态，又能提供更高的抛光速率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及新材料加工领域，特别是涉及一种适合于蓝宝石衬底和窗口片的化学 机械抛光用的硅铝复合抛光液。
技术介绍
为了提高蓝宝石化学机械抛光（CMP)效果，科技人员对其抛光工艺进行了研究： 采用Si0 2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光，分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓 度，结果表明，采用80-100 nm大粒径、高浓度的Si02磨料，能保证良好的表面状态。目 前LED行业和蓝宝石手机屏幕的大力推广，行业内对抛光速率的要求较高，以前4小时要去 除1. 5-2. Oum，目前每小时要去除2. 5-3. Oum,甚至更快。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供，可以得到一 种具有较高稳定性的抛光液，既能使加工件达到一定的表面状态，又能提供更高的抛光速 率。 为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种硅铝复合抛光液 的制作方法，包括如下步骤： 一、 将80-100nm的大粒径硅溶胶按照重量份800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去 离子水150-180份； 二、 将步骤一中的混合物整到黏度在2-5厘泊之间； 三、 按照重量份加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅含量30% 的抛光液； 四、 将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19):1与100-200nm的氧化铝抛光液混 合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。 优选的，所述大粒径硅溶胶中二氧化硅的含量为40%。。 优选的，所述黏度调节剂为表面活性剂和多元醇的混合物。 优选的，所述pH调节剂主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4 :1配的。 优选的，所述抛光加速助剂由一种强碱和一种强酸弱碱盐按照比例配制而成。 优选的，所述抛光加速助剂的PH值在8. 0-9. 0之间。 本专利技术的有益效果是：本专利技术的硅铝复合抛光液，可用于透镜、平板玻璃、表壳、显 示屏、精密五金等的抛光，特别适用于蓝宝石衬底和窗口片的化学机械抛光；增加了抛光加 速助剂，使得在抛光过程中，抛光液一直能够保持稳定的pH值，也就是与氧化铝玻璃材质 保持较高的化学作用；本专利技术不仅可以达到一定的表面状态，还能够提高抛光速率，单位工 作效率显著提高。 【具体实施方式】 toon] 下面对本专利技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本专利技术的优点和特征能更易于被 本领域技术人员理解，从而对本专利技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。 专利技术实施例包括： ，包括如下步骤： 一、 将80-100nm的大粒径硅溶胶按照重量份800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去 离子水150-180份； 二、 将步骤一中的混合物调整到黏度在2-5厘泊之间； 三、 按照重量份加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅含量30% 的抛光液； 四、 将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19):1与100-200nm的氧化铝抛光液混 合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。 其中，所述大粒径硅溶胶中二氧化硅的含量为40% ;所述黏度调节剂为丙三醇、聚 乙二醇、正丁醇的混合物；所述pH调节剂主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4 :1配的； 所述抛光加速助剂由氢氧化钠和氯化铝，氢氧化钾和氯化铝，氢氧化钾和磷酸二氢钾等按 照比例配制而成，PH值在8. 0-9. 0之间。 实施方式：由二氧化硅抛光液，大粒径硅溶胶、黏度调节剂，抛光加速助剂，pH调 节剂和去离子水配制而成的，具体配比如下： 硅溶胶（80-100nm，40%)，800-820 份； 黏度调节剂：5-10份 去离子水：150-180份 抛光加速助剂：5-10份 pH调节剂：2-4份 将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量 份（9-19) :1复配，得到硅铝复合抛光液。 实施例1 : 二氧化硅抛光液配制： 硅溶胶（80-100nm，40%)，800 份； 黏度调节剂：9份 去离子水：180份 抛光加速助剂：8份 pH调节剂：3份 将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量 份19 :1复配，得到硅铝复合抛光液； 实施例2 : 二氧化硅抛光液配制： 硅溶胶（80-100nm，40%)，810 份； 黏度调节剂：10份 去离子水：170份 抛光加速助剂：7份 pH调节剂：3份 将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量 份15 :1复配，得到硅铝复合抛光液. 实施例3 : 二氧化硅抛光液配制： 硅溶胶（80-100nm，40%)，800 份； 黏度调节剂：9份 去离子水：179份 抛光加速助剂：9份 pH调节剂：3份 将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量 份10 :1复配，得到硅铝复合抛光液. 实施例4 : 二氧化硅抛光液配制： 硅溶胶（80-100nm，40%)，820 份； 黏度调节剂：8份 去离子水：163份 抛光加速助剂：7份 pH调节剂：2份 将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量 份19 :1复配，得到硅铝复合抛光液. 实施例5 : 二氧化硅抛光液配制： 硅溶胶（80-100nm，40%)，815 份； 黏度调节剂：10份 去离子水：165份 抛光加速助剂：8份 pH调节剂：2份 将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量 份18 :1复配，得到硅铝复合抛光液 实施例6 : 二氧化硅抛光液配制： 硅溶胶（80-100nm，40%)，816 份； 黏度调节剂：8份 去离子水：168份 抛光加速助剂：5份 pH调节剂：3份 将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量 份19 :1复配，得到硅铝复合抛光液。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：一、将80‑100nm的大粒径硅溶胶按照重量份800‑820份，加入黏度调节剂5‑10份和去离子水150‑180份；二、将步骤一中的混合物整到黏度在2‑5厘泊之间；三、按照重量份加入pH调节剂2‑4份，抛光加速助剂5‑10份，得到二氧化硅含量30%的抛光液；四、将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9‑19）：1与100‑200nm的氧化铝抛光液混合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。

【技术特征摘要】
1. 一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，包括如下步骤： 一、 将80-100nm的大粒径硅溶胶按照重量份800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去 离子水150-180份； 二、 将步骤一中的混合物整到黏度在2-5厘泊之间； 三、 按照重量份加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅含量30% 的抛光液； 四、 将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19):1与100-200nm的氧化铝抛光液混 合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。2. 根据权利要求1所述的一种硅铝复合抛光液的制作方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：于长江，王兆敏，王猛，郝丽萍，
申请(专利权)人：泰安麦丰新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37