【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种环保型计算机硬盘用抛光物,其特征在于,包括下列重量份数的物质:三甲硅基甲基磷酸二甲酯12-23份,氰尿酸三聚氰胺10-16份,滑石粉8-16份,酸酐5-7份,硫脲6-13份,乙醛1-8份,乙二醛7-10份,氯化亚铁3-7份,氧化镁1-8份,盐酸3-8份,氧化铜7-13份,乙烯基双硬脂酰胺2-3份,硬脂酸单甘油酯1-3份,纳米银0.5份。本专利技术的有益效果是:制备简单,抛光效果明显,性能稳定。【专利说明】一种环保型计算机硬盘用抛光物
本专利技术涉及一种环保型计算机硬盘用抛光物。
技术介绍
对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断,强调内存或硬盘片制造方法的重要性,包括这类盘片的平坦化或抛光,以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法,但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种环保型计算机硬盘用抛光物。 为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是:一种环保型计算机硬盘用抛光物,其特征在于,包括下列重量份数的物质:三甲硅基甲基磷酸二甲酯12-23份,氰尿酸三聚氰胺10-16份,滑石粉8-16份,酸酐5-7份,硫脲6-13份,乙醛1-8份,乙二醛7-10份,氯化亚铁3-7份,氧化镁1-8份,盐酸3-8份,氧化铜7-13份,乙烯基双硬脂酰胺2-3份,硬脂酸单甘油酯1-3份,纳米银0.5份。 本专利 ...
【技术保护点】
一种环保型计算机硬盘用抛光物,其特征在于,包括下列重量份数的物质:三甲硅基甲基磷酸二甲酯12‑23份,氰尿酸三聚氰胺10‑16份,滑石粉8‑16份,酸酐5‑7份,硫脲6‑13份,乙醛1‑8份,乙二醛7‑10份,氯化亚铁3‑7份,氧化镁1‑8份,盐酸3‑8份,氧化铜7‑13份,乙烯基双硬脂酰胺2‑3份,硬脂酸单甘油酯1‑3份,纳米银0.5份。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:范向奎,
申请(专利权)人:青岛宝泰新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:山东;37
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