【技术实现步骤摘要】
一种半导体抛光剂
本专利技术涉及一种半导体抛光剂。
技术介绍
化学机械抛光是随着集成电路的工业发展成长起来的，其基本目的就是通过抛光过程获得近乎完美的晶体表面结构，用于集成电路的制造，随着集成电路工业技术指标的提高，线宽的不断缩小，可靠程度的要求越来越高，对抛光晶片的表面缺陷也要求越来越少，而且对表面的平整度，粗糙度，氧化层厚度及均匀性等等方面提出了非常严格的要求，这就促进了广泛应用于各种半导体晶片抛光过程中的化学机械抛光工艺及相关设备的不断发展和进步。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种半导体抛光剂。 为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是:一种半导体抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质:醚硫酸钠11-16份，乙醇15-20份，烷基醇聚氧乙烯5-9份，醚乙酸钠7-14份，甘氨酸5-8份，纳米碳酸钠15-20份，二氯甲烷1-3份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛8-10份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯7-13份，助溶剂3-6份，硬脂酸 4-13份，云母粉6-10份，空心玻璃微珠2-8份，PH调节剂9-14份。 本专利技术的有益效果是:配方简单、制作容易，其可在半导体加工的化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工，从而达到平坦化的目的。 【具体实施方式】 实施例1一种半导体抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质:醚硫酸钠11-16份，乙醇15-20份，烷基醇聚氧乙烯5-9份，醚乙酸钠7-14份，甘氨酸5-8份，纳米碳酸钠15-20份，二氯甲烷1-3份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛8-10...
【技术保护点】
一种半导体抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：醚硫酸钠11‑16份，乙醇15‑20份，烷基醇聚氧乙烯5‑9份，醚乙酸钠7‑14份，甘氨酸5‑8份，纳米碳酸钠15‑20份，二氯甲烷1‑3份，三氯甲烷1‑3份，多聚甲醛8‑10份，乙二醛3‑9份，乙酸乙酯7‑13份，助溶剂3‑6份，硬脂酸4‑13份，云母粉6‑10份，空心玻璃微珠2‑8份，PH调节剂9‑14份。
【技术特征摘要】
1.一种半导体抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质:醚硫酸钠11-16份，乙醇15-20份，烷基醇聚氧乙烯5-9份，醚乙酸钠7-14份，甘氨酸5-8份，纳米碳酸钠15-20份，二氯...
【专利技术属性】
技术研发人员：范向奎，
申请(专利权)人：青岛宝泰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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