机器人和制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种机器人和制造装置。所述机器人能够容易地设置到罩内。实施方式的机器人具备机体部和臂单元。机体部从真空罩的上方被搬入真空罩内，并且被固定于真空罩。此外，臂单元从真空罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的机体部连接。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

公开的实施方式涉及机器人、机器人的设置方法和制造装置。
技术介绍
以往，公知有搬送工件的机器人。作为搬送机器人公知有例如水平多关节机器人，该水平多关节机器人利用在水平方向伸缩的臂来搬送工件(参照专利文献I)。搬送机器人例如在半导体制造装置或液晶制造装置等中用于搬送半导体晶片或玻璃基板等工件。在这种装置中对工件的处理多在减压后的真空罩内进行。因此，搬送机器人也多配置在真空罩内。在将搬送机器人组装到真空罩的情况下，例如利用桥式起重器等起重器装置吊起搬送机器人移动到真空罩的上方之后，使起重器装置下降并将搬送机器人搬入真空罩内。专利文献1:日本特许第3881579号公报可是，近年来玻璃基板或半导体晶片等工件逐渐大型化，并且搬送机器人和真空罩伴随这些工件的大型化也变得大型化。因此，具有难以将搬送机器人设置到真空罩内的可能性。例如，搬送机器人越大型化，其高度尺寸就越容易变大。因此，为了使大型化的搬送机器人位于真空罩的上方，优选确保搬送机器人的搬入空间、即真空罩上表面的上方的空间更宽敞。但是，当搬送机器人的高度尺寸变大时，收纳搬送机器人的真空罩的高度尺寸也变大，因此难以确保搬送机器人的搬入空间宽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机器人，其特征在于，?所述机器人具备：?第一单元，其从罩的上方被搬入所述罩内，并且被固定于所述罩；和?第二单元，其从所述罩的上方被搬入所述罩内，并且与已固定于所述罩内的所述第一单元连接。

【技术特征摘要】
2011.09.08 JP 2011-1960701.一种机器人,其特征在于， 所述机器人具备: 第一单元，其从罩的上方被搬入所述罩内，并且被固定于所述罩；和 第二单元，其从所述罩的上方被搬入所述罩内，并且与已固定于所述罩内的所述第一单元连接。2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于， 所述第一单元的高度尺寸和所述第二单元的高度尺寸之和大于所述罩上方的搬入空间的高度尺寸， 所述第一单元和所述第二单元各自的高度尺寸小于所述搬入空间的高度尺寸。3.根据权利要求1或2所述的机器人，其特征在于， 所述第一单元具有使所述第二单元沿铅直方向升降的升降部， 所述第二单元具有在水平方向伸缩的臂部和使所述臂部以平行于铅直方向的回转轴线为中心旋转的回转部。4.根据权利要求3所述的机器人，其特征在于， 所述升降部具有电动机、筒状的轴部以及变换机构，所述变换机构配置在所述轴部的筒内，用于将所...

【专利技术属性】
技术研发人员：古川伸征，野口忠隆，大仁健辅，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：实用新型
国别省市：