一种用于多级干式真空泵的气路分配系统技术方案

本发明专利技术属于真空泵领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统，包括集成模块、孔板、销及压力传感器，其中集成模块内分别开有进气通道及出气通道，进气通道与出气通道通过位于两者之间的孔板相连通；所述出气通道内插设有可转动的销，销位于出气通道内的部分开有多个通孔；所述集成模块的进气端及出气端分别设有与进气通道连通的进气口及与出气通道连通的出气口，所述压力传感器分别安装在集成模块的进气端及出气端，分别测量所述孔板两侧的气体流量。本发明专利技术通过销的旋转，以不同孔径的通孔与出气口对接，不用更换气路即可实现各输出管路间不同流量比例的气体输出。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于多级干式真空泵的气路分配系统，其特征在于：包括集成模块(1)、孔板(4)、销(5)及压力传感器(9)，其中集成模块(1)内分别开有进气通道(10)及出气通道(8)，进气通道(10)与出气通道(8)通过位于两者之间的孔板(4)相连通；所述出气通道(8)内插设有可转动的销(5)，销(5)位于出气通道(8)内的部分开有多个通孔(7)；所述集成模块(1)的进气端及出气端分别设有与进气通道(10)连通的进气口(2)及与出气通道(8)连通的出气口(3)，所述压力传感器(9)分别安装在集成模块(1)的进气端及出气端，分别测量所述孔板(4)两侧的气体流量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张振厚，王光玉，孔祥玲，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21