多级干式真空泵制造技术

揭示一种多级干式真空泵，结构简单、紧凑，仅需少量部件，冷却性能最佳，材料廉价，设备不会热变形，能通过增加背压完全排放气体，且设施真空度增大。多级干式真空泵包括：多级缸体，有内部容纳空间、一侧的抽吸部分和另一侧的排出部分；成对转子，容纳在缸体内部容纳空间内并彼此啮合地转动；成对泵轴，使转子啮合；马达，驱动至少一根泵轴；成对齿轮，安装在泵轴处并与轴同步转动；气体通道，与多级缸体内部容纳空间连通并沿每个缸体外表面形成螺旋形；内部冷却通道，在气体通道内侧形成同心形状，并呈围绕内部容纳空间两侧的弧形轴向穿过缸体；外部冷却通道，形成同心地围绕气体通道外侧的弧形；冷却风机，安装在马达和泵轴的连接部分处。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多级干式真空泵，且具体涉及一种干式螺杆型真空泵，该干式螺杆型真空泵由两根轴和固定至轴并一起转动的两个转子形成，因此改进由设计成顺次增加压缩比的多个缸体形成的多级干式真空泵的冷却结构。
技术介绍
真空泵通常是指如下设备，它用于排出密封容器内气体分子并用于以如下方式增加容器内真空度:在低于大气压的压力下抽吸和压缩气体并排放到空气中。真空泵分类为由干式类型以及湿式类型形成的机械真空泵和蒸气泵。扩散泵是使用油来实现高度真空的湿式类型；而机械真空泵是具有低真空度且不使用油的干式类型，所以其结构相对简单且具有良好的耐久性和稳定的真空度，且使用者能用较低的维护成本方便地运用，因此这使得其在工业中得到较广泛的应用。近些年，与真空领域相关的技术快速发展，且其应用领域扩展到半导体沉积、电子工业、金属和化学领域、制药以及原子领域。产生真空的这些类型的真空泵分类为水柱式、油旋转式、罗茨式、油扩散式、物理吸收式、化学吸收式等，但真空泵可大体分为干式和湿式。由水柱式和油旋转式形成的湿式(将水或油注入真空泵)通常不用于如半导体领域、食品领域、化学领域以及制药领域的工业领域，在这些领域中不允许引本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多级干式真空泵，包括：多级缸体，所述多级缸体具有内部容纳空间、在一侧的抽吸端口以及另一侧的排出端口，从而压缩比从前级向后级增加；成对转子，所述成对转子容纳在所述缸体的所述内部容纳空间内并彼此相啮合地转动；成对泵轴，所述成对泵轴与所述转子相配合；马达，所述马达驱动所述泵轴中的至少一根；成对齿轮，所述成对齿轮安装在所述泵轴处并与轴同步转动；气体通道，所述气体通道与所述多级缸体的所述内部容纳空间连通，并沿每个缸体的外表面形成螺旋形，从而引导经由所述多级缸体顺次被压缩和传送的气体的排放；内部冷却通道，所述内部冷却通道在所述气体通道的内侧形成同心形状，并呈围绕所述内部容纳空间两侧的弧形而沿轴向穿过所...

【技术特征摘要】
2011.11.08 KR 10-2011-01155731.一种多级干式真空泵，包括: 多级缸体，所述多级缸体具有内部容纳空间、在一侧的抽吸端口以及另一侧的排出端口，从而压缩比从前级向后级增加； 成对转子，所述成对转子容纳在所述缸体的所述内部容纳空间内并彼此相啮合地转动； 成对泵轴，所述成对泵轴与所述转子相配合； 马达，所述马达驱动所述泵轴中的至少一根； 成对齿轮，所述成对齿轮安装在所述泵轴处并与轴同步转动； 气体通道，所述气体通道与所述多级缸体的所述内部容纳空间连通，并沿每个缸体的外表面形成螺旋形，从而引导经由所述多级缸体顺次被压缩和传送的气体的排放； 内部冷却通道，所述内部冷却通道在所述气体通道的内侧形成同心形状，并呈围绕所述内部容纳空间两侧的弧形而沿轴向穿过所述缸体； 外部冷却通道，所述外部冷却通道形成同心地围绕所述气体通道外侧的弧形；以及冷却风机，所述冷却风机安装在所述马达和所述泵轴的连接部分处并依靠所述泵轴的转动而从外部抽吸空气，并借助于所述内部和外部冷却通道沿轴向吹送空气。2.按权利要求1所述的泵，其特征在于，所述冷却风机在容纳在连...

【专利技术属性】
技术研发人员：大卫·金，
申请(专利权)人：大卫·金，
类型：发明
国别省市：