【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空获得领域，具体地说是。
技术介绍
传统的干式真空泵，只是接收运行指令，将真空腔体抽到极限真空，工作模式也无外乎满载模式或者节能模式，然而在实际应用中，客户并非只是想要极限真空，客户会有不同的工艺条件，往往需要将真空腔体保持在不同的真空度，现有的技术一般是客户设备上增加各种阀门，通过调整阀门的开度，来调整真空度，泵组本身不对真空度进行监测和控制。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供一种能自动调压的干式真空泵组，真空度可以从大气到O.1Pa自动调节，该真空泵组有智能控制系统可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且具有温度，流量，排气压力，功率自动采集系统，可以根据报警设置值进行自我监测并具有自动保护功能。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是一种能自动调压的干式真空泵组，包括以下步骤步骤1:使真空腔体从大气压到真空状态，复合真空计测量此过程中的真空度参数，并记录在CPU控制单元；步骤2 =CPU控制单元接收人机界面发出的目标真空度指令，完成目标真空度参数设置，将目标真空度参数与已存的真空度参数进行比较，读取已存真空...
【技术保护点】
一种能自动调压的干式真空泵控制方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：使真空腔体从大气压到真空状态，复合真空计测量此过程中的真空度参数，并记录在CPU控制单元；步骤2：CPU控制单元接收人机界面发出的目标真空度指令，完成目标真空度参数设置，将目标真空度参数与已存的真空度参数进行比较，读取已存真空度参数中接近的频率信号发送给三相交流变频器；步骤3：三相交流变频器通过对三相交流异步电动机转速的改变，控制多级干式真空泵和罗茨真空泵的抽速，使真空腔体达到频率信号下的真空度；步骤4：读取当前真空腔体的真空度参数，再与目标真空度参数进行比较，通过循环逼近过程，使真空腔体达到目标真空度，完成闭环控制。
【技术特征摘要】
1.一种能自动调压的干式真空泵控制方法，其特征在于，包括以下步骤 步骤1:使真空腔体从大气压到真空状态，复合真空计测量此过程中的真空度參数，并记录在CPU控制单元； 步骤2 =CPU控制单元接收人机界面发出的目标真空度指令，完成目标真空度參数设置，将目标真空度參数与已存的真空度參数进行比较，读取已存真空度參数中接近的频率信号发送给三相交流变频器； 步骤3 :三相交流变频器通过对三相交流异步电动机转速的改变，控制多级干式真空泵和罗茨真空泵的抽速，使真空腔体达到频率信号下的真空度； 步骤4:读取当前真空腔体的真空度參数，再与目标真空度參数进行比较，通过循环...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭丽娟，张宁，张军，李良进，王光玉，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。