【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵
，具体地说是一种真空泵传动结构。
技术介绍
干式真空泵是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多、越来越严格。由于由普通的油封机械泵、扩散泵所组成的真空系统易于向真空室中返油，真空室中的油分子会在硅片晶体上沉积，使硅晶体成为废品。所以这样的真空系统在半导体工业、电子工业中的应用受到了限制。相反，由于干式真空泵不需要润滑油来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用。由于在PECVD工艺中，使用的气体往往都含有较多粉尘。气体经过反应腔进入泵体内部，最后经泵的排气口排出。因此部分粉尘会残留在腔体内部，久而久之，会损伤轴承轴封的易损件，以及会造成真空泵在使用过程中间隙被粉尘积满卡死。当转子卡死时，电机会继续运转，一方面会对泵造...
【技术保护点】
一种真空泵传动结构，其特征在于：包括电机(1)、耦合腔(2)、右耦合器(3)、左耦合器(4)、耦合器罩(5)及主动转子轴(6)，其中耦合腔(2)的腔体一端与真空泵壳体连接，另一端与电机(1)的法兰连接，所述右耦合器(3)、左耦合器(4)和耦合器罩(5)均设置于耦合腔(2)内，所述左耦合器(4)与主动转子轴(6)固接，所述右耦合器(3)与电机(1)的输出轴固接，所述耦合器罩(5)可转动的套设于主动转子轴(6)上、并一端与右耦合器(3)连接，所述左耦合器(4)容置于耦合器罩(5)内，所述电机(1)驱动右耦合器(3)旋转，所述右耦合器(3)带动耦合器罩(5)旋转，所述右耦合器(3...
【技术特征摘要】
1.一种真空泵传动结构，其特征在于包括电机(I)、耦合腔(2)、右耦合器(3)、左耦合器(4)、耦合器罩(5)及主动转子轴￠)，其中耦合腔(2)的腔体一端与真空泵壳体连接，另一端与电机(I)的法兰连接，所述右耦合器(3)、左耦合器(4)和耦合器罩(5)均设置于耦合腔(2)内，所述左耦合器(4)与主动转子轴￠)固接，所述右耦合器(3)与电机(I)的输出轴固接，所述耦合器罩(5)可转动的套设于主动转子轴(6)上、并一端与右耦合器(3)连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王光玉，张振厚，于明鹤，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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