移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法制造方法及图纸

于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pb)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pb)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术系关于，更详言的，系关于具备能与物体一起沿与水平面平行的既定二维平面内的既定范围的移动体的移动体装置、具备该移动体装置的曝光装置、使用该曝光装置的元件制造方法、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法、以及在从下方支承前述物体的物体支承装置上交换物体的物体交换方法。
技术介绍
以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的微影制程中，系使用一边使掩膜或标线片(以下总称为「掩膜」)与玻璃板或晶圆等物体(以下总称为「基板」)沿既定扫描(Scan)方向同步移动、一边将形成于掩膜的图案经由投影光学系统转印至基板上的步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机等)(参照例如专利文献I)。此种曝光装置，曝光对象的基板被既定的基板交换装置搬入基板载台上，且在曝光处理结束后，被基板交换装置从基板载台上搬出。接着，藉由基板交换装置将其他基板搬入基板载台上。曝光装置，系藉由反复进行上述基板的搬入、搬出，而对复数个基板连续进行曝光处理。是以，在连续使复数个基板曝光时，最好是能迅速地进行基板往基板载台上的搬入及基板从基板载台上的搬出。[专利文献][专利文献I]美国专利技术专利申请公开第2010/ 0018950号
技术实现思路
根据本专利技术的第I态样，提供一种第I移动体装置，其具备:移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有可在包含O度的至少两阶段变更其一面相对前述二维平面的倾斜角度的第I构件，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第I支承装置，具有一面，可从下方支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第I角度的第I状态的前述第I构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第I角度的第I移动面；第2支承装置，具有一面，可从下方支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第2角度的第2状态的前述第I构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第2角度的第2移动面；以及搬送系统，包含使前述物体沿前述第I移动面移动的第I搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第I及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。此处，第I角度与第2角度亦可系相异或亦可相同。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第I及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第I及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第2态样，提供一种第2移动体装置，其具备:移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有其一面与前述二维平面平行的第I构件，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体;第I支承装置及第2支承装置，至少一方能在与前述二维平面交叉的方向相对前述第I构件移动，分别具有与前述二维平面平行的一面且能支承前述物体；以及搬送系统，包含:使前述物体沿包含前述第I构件的前述一面与前述第I支承装置的前述一面的第I移动面移动的第I搬送系统、与使前述物体沿包含前述第I构件的前述一面与前述第2支承装置的前述一面的第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第I及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第I及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第I及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第3态样，提供一种第3移动体装置，其具备:移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第I支承装置，与前述物体支承装置的至少一部分一起形成第I移动面;第2支承装置，与前述物体支承装置的至少一部分一起形成第2移动面；以及搬送系统，包含:使前述物体沿前述第I移动面移动的第I搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且与前述物体的搬出至少一部分并行地藉由前述第I及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上；在前述物体的搬出动作时及前述其他物体的搬入动作时的至少一方，前述移动体与前述物体支承装置的至少一部分系相对移动。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第I及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第I及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第4态样，提供一种第4移动体装置，其具备:移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有与前述物体下面对向的一面，使用前述一面从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第I支承装置，具有与前述物体支承装置的前述一面一起形成与前述二维平面平行的第I移动面的一面，能从下方支承前述物体;第2支承装置，具有与前述物体支承装置的前述一面一起形成与前述二维平面平行的第2移动面的一面，能从下方支承前述物体；以及搬送系统，包含:使前述物体沿前述第I移动面移动的第I搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第I及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第I及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第I及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第5态样，提供一种第I曝光装置，具备:上述第I至第4移动体装置的任一者，其进一步具备调整装置，该调整装置配置于前述既定范围内，保持前述物体的一部分以调整该物体一部分在与前述二维平面交叉的方向的位置；以及图案化装置，系对前述物体中保持于前述调整装置的部位照射能量束以形成既定图案。根据本专利技术的第6态样，提供一种第2曝光装置，系照射能量束以使物体曝光，其具备:移动体，可保持前述物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.13 US 61/382,141;2010.09.13 US 61/382,130;1.一种移动体装置，其具备: 移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动； 物体支承装置，具有可在包含O度的至少两阶段变更其一面相对前述二维平面的倾斜角度的第I构件，并且从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体； 第I支承装置，具有一面，可从下方支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第I角度的第I状态的前述第I构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第I角度的第I移动面； 第2支承装置，具有一面，可从下方支 承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第2角度的第2状态的前述第I构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第2角度的第2移动面；以及 搬送系统，包含使前述物体沿前述第I移动面移动的第I搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统； 藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第I及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。2.按权利要求1所述的 移动体装置，其中，前述第I角度系O度，且在前述第I状态下，前述第I构件的前述一面与前述二维平面平行。3.按权利要求2所述的移动体装置，其中，前述移动体能在前述第I构件上的区域与前述第I支承装置上的区域之间移动；并且 前述第I搬送系统系使用前述移动体将前述物体从前述第I构件上搬出至前述第I支承装置上或从前述第I支承装置上搬入前述第I构件上。4.按权利要求2或3所述的移动体装置，其中，前述移动体包含沿前述物体的外周缘部的至少一部分配置的本体部与支承前述物体的支承部。5.按权利要求4所述的移动体装置，其中，于前述本体部，形成有当前述第I构件的前述一面设定于前述第I状态时容许前述物体沿前述二维平面的方向而通过的开口部。6.按权利要求4或5所述的移动体装置，其中，前述支承部，能在支承前述物体的支承位置与从该支承位置退离的退离位置之间移动。7.按权利要求1所述的移动体装置，其中，前述第I角度及前述第2角度系为O度以外的角度。8.按权利要求7所述的移动体装置，其中，前述物体从前述物体支承装置上的搬出及前述其他物体往前述物体支承装置上的搬入的各动作系从沿前述第I或第2移动面的斜上方往斜下方进行。9.按权利要求7或8所述的移动体装置，其中，前述移动体包含沿前述物体的外周缘部的至少一部分配置的本体部与支承前述物体的支承部。10.按权利要求9所述的移动体装置，其中，前述物体系从斜上方或斜下方插入前述本体部内并同时搬入前述物体支承装置上，且从前述物体支承装置上的前述本体部内往斜上方或斜下方搬出。11.按权利要求9或10所述的移动体装置，其中，前述支承部，能在支承前述物体的支承位置与从该支承位置退离的退离位置之间移动。12.按权利要求1至11项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I搬送系统系使用在前述第I构件上的区域与前述第I支承装置上的区域之间驱动前述物体的第I驱动装置进行前述物体的搬出或前述其他物体的搬入；且 前述第2搬送系统系使用在前述第I构件上的区域与前述第2支承装置上的区域之间驱动前述物体的第2驱动装置进行前述物体的搬出或前述其他物体的搬入。13.按权利要求1至12项中任一所述的移动体装置，其中，与前述第I及前述第2搬送系统的一方对前述物体的搬出动作并行地，开始前述第I及前述第2搬送系统的另一方对前述其他物体的搬入动作。14.按权利要求1至13项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I构件、前述第I支承装置、以及前述第2支承装置系以非接触方式支承前述物体。15.按权利要求1至14项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I及第2支承装置的至少一方能相对前述物 体支承装置移动于与前述二维平面平行的方向。16.按权利要求1至15项中任一所述的移动体装置，其中，前述物体往前述物体支承装置上的搬入动作与前述物体从前述物体支承装置上的搬出动作，至少一部分系并行进行。17.按权利要求1至16项中任一所述的移动体装置，其中，在前述物体往前述物体支承装置上的搬入动作时及前述物体从前述物体支承装置上的搬出动作时的至少一方，前述移动体与前述物体支承装置的至少一部分系相对移动。18.按权利要求1至17项中任一所述的移动体装置，其进一步具备: 调整装置，该调整装置配置于前述既定范围内，保持前述物体的一部分以调整该物体一部分在与前述二维平面交叉的方向的位置。19.按权利要求18所述的移动体装置，其中，前述调整装置系对前述物体下面喷出气体且吸引相对前述物体的对向面与前述物体下面之间的气体而以非接触方式保持前述物体。20.一种曝光装置,其具备: 权利要求18或19所述的移动体装置；以及 对前述物体中保持于前述调整装置的部位照射能量束以形成既定图案的图案化装置。21.按权利要求20所述的曝光装置，其中，前述物体系用于平板显示器的制造的基板。22.按权利要求21所述的曝光装置，其中，前述基板至少一边的长度为500_以上。23.一种平板显示器的制造方法，其包含: 使用权利要求21或22所述的曝光装置曝光前述基板；以及 显影曝光后的前述基板。24.一种元件制造方法，其包含: 使用权利要求20至22项中任一所述的曝光装置曝光前述物体；以及 显影曝光后的前述物体。25.一种移动体装置，其具备: 移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动； 物体支承装置，具有其一面与前述二维平面平行的第I构件，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第I支承装置及第2支承装置，至少一方能在与前述二维平面交叉的方向相对前述第I构件移动，分别具有与前述二维平面平行的一面且能支承前述物体；以及 搬送系统，包含:使前述物体沿包含前述第I构件的前述一面与前述第I支承装置的前述一面的第I移动面移动的第I搬送系统以及与使前述物体沿包含前述第I构件的前述一面与前述第2支承装置的前述一面的第2移动面移动的第2搬送系统； 藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第I及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。26.按权利要求25所述的移动体装置，其中，前述第I构件的前述一面，能在与前述二维平面交叉的方向移动于第I位置与异于该第I位置的第2位置之间。27.按权利要求26所述的移动体装置，其中，包含前述第I支承装置的前述一面与位于前述第I位置的前述第I构件的前述一面而形成前述第I移动面。28.按权利要求27所述的移动体装置，其中，前述移动体能在前述第I构件上的区域与前述第I支承装置上的区域之间移动； 前述第I搬送系统系使用前述移动体将前述物体从前述第I构件上搬出至前述第I支承装置上或从前述第I支承装置上搬入前述第I构件上。29.按权利要求26至28项中任一所述的移动体装置，其中，包含前述第2支承装置的前述一面与位于前述第1位置的前述第I构件的前述一面而形成前述第2移动面。30.按权利要求26至29项中任一所述的移动体装置，其中，包含前述第2支承装置的前述一面与位于前述第2 位置的前述第I构件的前述一面而形成前述第2移动面。31.按权利要求25至30项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I及第2移动面位于相异的平面上。32.按权利要求31所述的移动体装置，其中，前述第I及第2支承装置能相对前述物体支承装置移动于与前述二维平面交叉的方向。33.按权利要求25至32项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I搬送系统系使用在前述第I构件上的区域与前述第I支承装置上的区域之间驱动前述物体的第I驱动装置进行前述物体的搬入或搬出； 前述第2搬送系统系使用在前述第I构件上的区域与前述第2支承装置上的区域之间驱动前述物体的第2驱动装置进行前述物体的搬入或搬出。34.按权利要求25至33项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I及第2搬送系统的一方对前述物体的搬出动作与前述第I及第2搬送系统的另一方对前述其他物体的搬入动作，至少一部分系并行进行。35.按权利要求25至30项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I及第2移动面位于相同平面上。36.按权利要求35所述的移动体装置，其中，在前述第I构件位于与前述第I及第2支承装置两者相邻的位置的状态下进行前述物体的搬出动作及前述物体的搬入动作。37.按权利要求25至38项中任一所述的移动体装置，其中，前述第I构件、前述第I支承装置、以及前述第2支承装置系以非接触方式支承前述物体。38.按权利要求25至37项中任一所述的移动体装置，其中，前述移动体包含沿前述物体的外周缘部的至少一部分配置的本体部与支承前述物体的支承部。39.按权利要求38所述的移动体装置，其中，于前述本体部，形成有容许前述物体往沿前述第I及第2移动面的至少一方的方向通过的开口部。40.按权利要求38或39所述的移动体装置，其中，前述支承部，能在支承前述物体的支承位置与从该支承位置退离的退离位置之间移动。41.按权利要求25至37项中任一所述的移动体装置，其中，前述移动体包含沿前述物体的外周缘部的至少一部分配置的本体部与支承前述物体的支承部； 于前述移动体，形成有容许前述第I构件朝向与前述二维平面交叉的方向通过的开口部。42.按权利要求41所述的移动体装置，其中，前述支承部，能在支承前述物体的支承位置与从该支承位置退离的退离位置之间移动。43.按权利要求25至42项中任一所述的移动体装置，其进一步具备: 调整装置，该调整装置配置于前述既定范围内，并且保持前述物体的一部分以调整该物体一部分在与前述二维平面交叉的方向的位置。44.按权利要求43所述的移动体装置，其中，前述调整装置系对前述物体下面喷出气体且吸引相对前述物体的对向面与前述物体下面之间的气体而以非接触方式保持前述物体。45.一种曝光装置，其具备: 权利要求43或44所述的移动体装置；以及 对前述物体中保持于前述调整装置的部位照射能量束以形成既定图案的图案化装置。46.按权利要求45所述的曝光装置，其中，前述物体系用于平板显示器的制造的基板。47.按权利要求46所述的曝光装置，其中，前述基板至少一边的长度为500mm以上。48.一种平板显示器的制造方法，其包含: 使用权利要求46或47所述的曝光装置曝光前述基板；以及 显影曝光后的前述基板。49.一种元件制造方法，其包含: 使用权利要求45至47项中任一所述的曝光装置曝光前述物体；以及 显影曝光后的前述物体。50.一种移动体装置,其具备: 移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动； 物体支承装置，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体； 第I支承装置，与前述物体支承装置的至少一部分一起形成第I移动面； 第2支承装置，与前述物体支承装置的至少一部分一起形成第2移动面；以及搬送系统，包含:使前述物体沿前述第I移动面移动的第I搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统，其中， 藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且与前述物体的搬出至少一部分并行地藉由前述第I及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上，以及 在前述物体的搬出动作时及前述其他物体的搬入动作时的至少一方，前述移动体与前述物体支承装置的至少一部分系相对移动。51.按权利要求50所述的移动体装置，其进一步具备: 调整装置，该调整装置配置于前述既定范围内，并且保持前述物体的一部分以调整该物体一部分在与前述二维平面交叉的方向的位置。52.按权利要求51所述的移动体装置，其中，前述调整装置系对前述物体下面喷出气体且吸引相对前述物体的对向面与前述物体下面之间的气体而以非接触方式保持前述物体。53.一种曝光装置，其具备: 权利要求51或52所述的移动体装置；以及 对前述物体中保持于前述调整装置的部位照射能量束以形成既定图案的图案化装置。54.按权利要求53所述的曝光装置，其中，前述物体系用于平板显示器的制造的基板。55.按权利要求54所述的曝光装置，其中，前述基板至少一边的长度为500mm以上。56.一种平板显示器的制造方法，其包含: 使用权利要求54或55所述的曝光装置曝光前述基板；以及 显影曝光后的前述基板。57.一种元件制造方法，其包含: 使用权利要求53至55项中任一所述的曝光装置曝光前述物体；以及 显影曝光后的前述物体。58.一种移动体装置,其具备: 移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动； 物体支承装置，具有与前述物体下面对向的一面，并且使用前述一面从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体； 第I支承装置，具有与前述物体支承装置的前述一面一起形成与前述二维平面平行的第I移动面的一面，能从下方支承前述物体； 第2支承装置，具有与前述物体支承装置的前述一面一起形成与前述二维平面平行的第2移动面的一面，能从下方支承前述物体；以及 搬送系统，包含:使前述物体沿前述第I移动面移动的第I搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统； 藉由前述第I及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第I及第2搬送系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：