【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体器件,本专利技术尤其涉及一种半导体器件的封装工艺。
技术介绍
半导体器件模块在制造工艺的最后阶段,通常需要将整个模块密封起来,形成一个完整的模块封装结构。现有技术的封装工艺中,通常在将元件接插到覆铜陶瓷基板(DBC基板)上以后,需要采用特殊的治具,将元件的针脚连接到DBC基板上的锡膏处,并在基板上加上外壳,最后在加了外壳的模块内部注入胶水后烘烤,使之固化。但是,这种现有技术的封装工艺,效率低、费时、费力。由于采用的是外壳封装,使得整个模块体积较大。而且由于灌封模块时采用灌胶固化的方式来保护模块和引线,即,在模块外壳内注入硅橡胶,通过烘烤固化硅橡胶来保护模块内部元件和连线的连接,因而可靠性较低。另外,由于外壳通常是陶瓷材料,因此,材料成本较高。图4中示出现有技术采用灌封技术得到的模块的外形。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种封装工艺。这种工艺可以使得封装无需外壳,并且可以大大减小模块的体积,提高模块连接的可靠性。本专利技术提供了一种半导体模块封装工艺,包含:将元件安装到基板上指定的位置处;将框架凸点连接到基板上;键合元件之间以及元件与框架之 ...
【技术保护点】
一种半导体模块封装工艺,包含:将元件安装到基板上指定的位置处;将框架凸点连接到基板上;键合元件之间以及元件与框架之间的金属连接线;以及将基板塑封起来。
【技术特征摘要】
1.一种半导体模块封装工艺,包含: 将元件安装到基板上指定的位置处; 将框架凸点连接到基板上; 键合元件之间以及元件与框架之间的金属连接线;以及 将基板塑封起来。2.按权利要求1所述的半导体模块封装工艺,它还包含在将元件安装到基板上指定的位置处之前,在所述的指定位置以及基板与框架凸点连接处涂抹锡膏。3.按权利要求2所述的半导体模块封装工艺,将框架凸点连接到基板上是连接到涂抹了锡膏处。4.按权利要求3所述的半导体模块封装工艺,它还包含在键合元件之间以及元件与...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚平,孙宏伟,王建新,
申请(专利权)人:无锡华润安盛科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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