【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于从等离子容器中引出离子束的离子束引出电极以及包括该电极的离子源。
技术介绍
用于从等离子体容器中引出离子束的电极是已知的，所述电极包括离子能通过的圆形和缝隙形的多个离子引出孔。离子源中采用一组多片电极，且电极的各个片都在离子源的等离子体容器中彼此邻近地设置，以致形成在相应电极中的离子引出孔位于沿着离子束的引出方向的相同位置。在离子源运行时，将合适的电压施加至相应电极以从在等离子体容器中产生的等离子体引出离子束。在这种情况下，从等离子体容器中引出的离子与电极碰撞，或热量从由高温加热的等离子体容器传递到电极，使得各个电极都升至高温。为此，可耐受高温的高熔点材料用作电极的材料。但是，即使采用高熔点材料，也会发生热变形，虽然热变形是微小的。随着离子源长时间运行，会积累微小的热变形，使得其变形量增加。如果电极的热变形量增加，则形成于相应电极中的离子引出孔的位置会发生偏移。因此，难于引出所需引出角度或所需电流量的尚子束。为了抑制热变形，采用专利文献I中公开的电极。形成在电极中的缝隙形的离子束引出孔以一间隔设置在多个杆之间，该多个杆设置在形成于电极支撑框...
【技术保护点】
一种离子束引出电极，包括：在电极框架的中心处具有开口的电极框架；以及在一方向上间隔地设置的多个离子引出孔形成部件，各个离子引出孔形成部件的至少一端被在所述方向的垂直方向上可移动地支撑，其中多个离子引出孔形成部件包括至少一个第一离子引出孔形成部件，所述第一离子引出孔形成部件具有杆形的主体部以及从所述主体部延伸的第一过渡部，以及所述第一过渡部与邻近所述第一离子引出孔形成部件的第二离子引出孔形成部件接触。
【技术特征摘要】
2011.10.31 JP 2011-2395521.一种离子束引出电极，包括: 在电极框架的中心处具有开口的电极框架；以及 在一方向上间隔地设置的多个离子引出孔形成部件，各个离子引出孔形成部件的至少一端被在所述方向的垂直方向上可移动地支撑， 其中多个离子引出孔形成部件包括至少一个第一离子引出孔形成部件， 所述第一离子引出孔形成部件具有杆形的主体部以及从所述主体部延伸的第一过渡部，以及 所述第一过渡部与邻近所述第一离子引出孔形成部件的第二离子引出孔形成部件接触。2.根据权利要求1所述的离子束引出电极， 其中所述第二离子引出孔形成部件在接触所述第一过渡部的位置处具有第二凹部。3.根据权利要求2所述的离子束引出电极， 其中所述第一离子引出孔形成部件具有第一凹部，其接触第三离子引出孔形成部件的第三过渡部，所述第三离子引出孔形成部件邻近所述第一离子引出孔形成部件， 所述第一过渡部和所述第一凹部设置在所述第一离子引出孔形成部件的主体部中， 所述第一过渡部在所述方向上从所述主体部的一端延伸，以及 所述第一凹部在所述方向...
【专利技术属性】
技术研发人员：井内裕，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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