离子源电极的清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种离子源电极的清洁装置，可以沿构成离子源的引出电极系统的电极的宽广区域高速去除沉积物。该清洁装置包括：清洁气体源（42）等构件，向引出电极系统（10）的相互面对的两个电极（11、12）之间提供清洁气体（48），使两个电极之间的气体压力保持在发生辉光放电的气体压力；辉光放电电源（60），向两个电极（11、12）之间施加直流电压，发生辉光放电（80）。该清洁装置还包括：异常放电测量器（84），测量在规定时间内电极（11、12）之间发生异常放电的次数（N）；电源控制器（86），使用测量到的发生异常放电的次数（N）进行控制，使辉光放电电源（60）的输出电流（Ig）增减规定幅度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在未从离子源引出离子束时，对构成离子源的引出电极系统的多个电极中相互面对的两个电极进行清洁的清洁装置。此外，在本说明书中，简称为离子时是指正离子。
技术介绍
如果从离子源引出离子束的运转持续进行，则在构成引出电极系统的电极上沉积(附着)沉积物。如果放任这种情况，则会引起电极之间异常放电等问题。因此，作为清洁离子源电极的技术的一个例子，以往提出了如下的清洁技术:取代向离子源的等离子体室内提供可电离气体，而是提供稀有气体，并把该稀有气体的离子束引出，而且通过调整气体流量和/或引出电压，来调整离子束的束径，由此，使离子束冲击电极表面上所沉积的沉积物，利用溅射去除沉积物(例如参照专利文献I )。专利文献1:日本专利公报特许第4374487号(段落0024-0028，图1)在上述以往的清洁技术中，通过使稀有气体的离子束冲击电极表面的沉积物，从而去除沉积物，但是无论如何调整提供至离子源的等离子体室内的稀有气体的气体流量或施加于引出电极系统的引出电压，去除沉积物的区域都限定在电极的孔(离子引出孔)周围，所以不能去除其他区域上所沉积的沉积物。因此，可以去除沉积物的区域狭窄。此外，由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子源电极的清洁装置，在未从离子源引出离子束时，对构成离子源的引出电极系统的多个电极中相互面对的两个电极进行清洁，所述离子源电极的清洁装置的特征在于包括：放电气氛形成构件，在清洁时至少向相互面对的两个所述电极之间提供清洁气体，使两个所述电极之间的气体压力保持在发生辉光放电的气体压力；辉光放电电源，在清洁时向相互面对的两个所述电极之间施加直流电压，使所述清洁气体在两个所述电极之间发生辉光放电；异常放电测量构件，测量清洁时的所述辉光放电电源的输出电流或输出电压的大小，检测相互面对的两个所述电极之间的异常放电，并且测量在规定时间内发生所述异常放电的次数；以及电源控制构件，利用由所述异常放电测量构...

【技术特征摘要】
2011.11.07 JP 2011-2430671.一种离子源电极的清洁装置，在未从离子源引出离子束时，对构成离子源的引出电极系统的多个电极中相互面对的两个电极进行清洁，所述离子源电极的清洁装置的特征在于包括: 放电气氛形成构件，在清洁时至少向相互面对的两个所述电极之间提供清洁气体，使两个所述电极之间的气体压力保持在发生辉光放电的气体压力； 辉光放电电源，在清洁时向相互面对的两个所述电极之间施加直流电压，使所述清洁气体在两个所述电极之间发生辉光放电； 异常放电测量构件，测量清洁时的所述辉光放电电源的输出电流或输出电压的大小，检测相互面对的两个所述电极之间的异常放电，并且测量在规定时间内发生所述异常放电的次数；以及 电源控制构件，利用由所述异常放电测量构件测量到的所述规定时间内发生异常放电的次数，控制所述辉光放电电源的输出电流，并进行如下控制:Ca)在开始清洁时把所述辉光放电电源的输出电流控制为规定的初始值；(b)当发生所述异常放电的次数小于规定的第一下限值时，使所述辉光放电电源的输出电流以规定的达成目标值为上限，增加规定的第一增幅；(C)当发生所述异常放电的次数大于规定的上限值时，使所述辉光...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本武，中尾和浩，厚主诚，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：