楔形板组的胶合方法和夹具技术

本发明专利技术公开了一种用于光刻机的楔形板组的胶合方法和夹具，包括①建立超净工作室和超净工作台，②在超净工作台对符合要求的镀膜楔形板用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭,③将第一楔形板和第二楔形板对准，构成楔板组；④半固化胶合楔板组；⑤初步固化测量：⑥最终固化测量；⑦对胶合好的楔板组进行包装，让其完全固化。本发明专利技术减少了报废率，胶合的楔板组符合高质量要求，符合光刻要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机，特别是一种用于光刻机的楔板组的胶合方法和夹具，该楔板组胶合主要用于光衍射分离，该向成果直接影响到光刻机里的硅片向位光栅自动对准。
技术介绍
目前欧美国家胶合(40到60) X (40到60) mm材料为肖特BK7 (加工完光圈为N=I，Δ N=0.3,中心区域见图1所示N=0.2, Δ N=0.1 ;镀膜后进行胶合,胶合后光圈要求为N=I,Λ N=0.3)，中心区域胶合完成后可以到达N=0.2，Λ N=0.1的要求，胶层厚度控制在15 μ m，胶水面积扩散特定的区域，且胶水的最终扩散面积控制在直径为8-12mm之间；但是国内企业胶合的楔板组胶合完成后，中心区域光圈为N=2 2.5，Λ N=I 1.5，远远不能满足90nm光刻机的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于光刻机的楔板组的胶合方法，克服国外对中国该项技术的封锁，满足国内90nm光刻机的设计需要，即使(40 60) x (40 60)mm材料为肖特BK7(加工完光圈为Ν=1，Λ N=0.3，中心区域的N=0.2，Δ N=0.1 ;镀膜后进行胶合，胶合后光圈要求为Ν=1，Λ N=0.3)中心区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光刻机的楔形板组的胶合方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：①建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20～26℃±0.1℃，湿度为50～70%标准大气压下超净工作台上进行胶合工作；②在超净工作台，工作人员带上防静电手套和口罩,对待用的镀膜楔形板用Zygo?VeriFire非球面干涉仪上进行测量，对符合要求的镀膜楔形板用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭,在擦拭过程中把楔形板放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；③从所述的玻璃器皿中取出一块楔形板称为第一楔形板（1）置于楔板胶合夹具上，使第一楔形板的两边靠贴所述...

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机的楔形板组的胶合方法，其特征在于，该方法包括下列步骤: ①建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20 26°C±0.1°C，湿度为50 70%标准大气压下超净工作台上进行胶合工作； ②在超净工作台，工作人员带上防静电手套和口罩，对待用的镀膜楔形板用ZygoVeriFire非球面干涉仪上进行测量，对符合要求的镀膜楔形板用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭，在擦拭过程中把楔形板放在IOOw的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染； ③从所述的玻璃器皿中取出一块楔形板称为第一楔形板(I)置于楔板胶合夹具上，使第一楔形板的两边靠贴所述的楔板胶合夹具上的楔板基准靠边(5)，确保胶合面(3)朝上并成水平，然后采用点胶机并在气压为0.1 0.2Mpa，控制时间在1.5 3.5s对胶合区域进行控胶量点胶，从所述的玻璃器皿中取出一块楔形板称为第二楔形板(2)，再将第二楔形板(2)的胶合面轻轻地放置在第一楔形板的胶合面上，在两基准靠边的对面给所述的楔形板施加一定力，构成楔板组； ④打开紫外光源，用双光纤或者单光纤对胶点进行20 50s曝光,等待5 10分钟，获得半固化胶合楔板组； ⑤初步固化测量: 将所述的楔板组连同楔板胶合夹具一起拿到Zygo VeriFire非球面干涉仪上进行测量，检查楔板组的正面面形，当面形符合设计要求时，进入步骤⑥；当面形不符合设计要求时，进入步骤⑦； ⑥...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋泉权，魏向荣，顾亚平，
申请(专利权)人：上海现代先进超精密制造中心有限公司，
类型：发明
国别省市：