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本发明公开了一种用于光刻机的楔形板组的胶合方法和夹具，包括①建立超净工作室和超净工作台，②在超净工作台对符合要求的镀膜楔形板用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭,③将第一楔形板和第二楔形板对准，构成楔板组；④半固化胶合楔板组；⑤初步固化测...
该专利属于上海现代先进超精密制造中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海现代先进超精密制造中心有限公司授权不得商用。

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