【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种垂直大位移MEMS微镜及加工工艺。
技术介绍
微型化，高性能，低成本，大批量是当今器件制造的追求目标。微机电系统技术此时应运而生，被广大制造制造商广泛应用。使用微机电系统技术制造的器件主要可分成两大类，其一就是单纯微型化传统器件，如微型光学平台，其优点集中体现在可以拓展微型化的系统的使用范围；其二使用革新原理制造出传统方法无法制作的器件，如地磁传感器。MEMS微镜作为微机电系统(MEMS)的杰出代表，其种类丰富，性能优良。MEMS微镜的大力发展当然也离不开市场对MEMS微镜的急切需求。现今，MEMS微镜的应用领域有微型投影扫描，医疗成像中的光学扫描探头，光通信中的光开关，光可变衰减器，微型光谱仪坐坐寸寸ο其中MEMS微镜的驱动结构常用的有四大类:静电驱动，电磁驱动，压电驱动和电热驱动。其中每一种驱动结构都有自己的优点，如静电驱动型驱动电压高，功耗低，但是转角小，比较适合光可变衰减器；电磁驱动型驱动电压低，扫描频率低，旋转角度大，适合微型投影仪；压电驱动型由于制作材料的性能有限，使得微镜的旋转角度小，使用范围有限；电热驱动型研究的最彻底，使用范围...
【技术保护点】
一种垂直大位移MEMS微镜，包括微镜边框（1）、镜体（2）和驱动臂（3），镜体（2）边缘通过驱动臂（3）与微镜边框（1）相连接，驱动臂（3）上设置有第一导电走线，其特征在于：所述驱动臂（3）包括两根直梁（4）和与之相对应的三个双层膜Bimorph结构连接件（5），双层膜Bimorph结构连接件（5）上设置数个加热电阻（7），第一导电走线与加热电阻（7）相连接；各根直梁（4）之间、直梁（4）与微镜边框（1）之间、直梁（4）与镜体（2）边缘之间均通过双层膜Bimorph结构连接件（5）进行连接，使镜体（2）相对于微镜边框（1）处于垂直大位移的位置。
【技术特征摘要】
1.一种垂直大位移MEMS微镜，包括微镜边框(I)、镜体(2)和驱动臂(3)，镜体(2)边缘通过驱动臂(3)与微镜边框(I)相连接，驱动臂(3)上设置有第一导电走线，其特征在于:所述驱动臂(3)包括两根直梁(4)和与之相对应的三个双层膜Bimorph结构连接件(5)，双层膜Bimorph结构连接件(5)上设置数个加热电阻(7)，第一导电走线与加热电阻(7)相连接；各根直梁(4 )之间、直梁(4 )与微镜边框(I)之间、直梁(4 )与镜体(2 )边缘之间均通过双层膜Bimorph结构连接件(5 )进行连接，使镜体(2 )相对于微镜边框(I)处于垂直大位移的位置。2.根据权利要求1所述一种垂直大位移MEMS微镜，其特征在于:还包括分别设置在镜体(2)表面上和双层膜Bimorph结构连接件(5)上的热敏电阻(6)。3.根据权利要求2所述一种垂直大位移MEMS微镜，其特征在于:所述热敏电阻(6)为Pt或者多晶硅材料。4.根据权利要求2所述一种垂直大位移MEMS微镜，其特征在于:所述设置在镜体(2)表面上的热敏电阻(6)采用蛇形分布的方式设置在镜体(2)表面上。5.根据权利要求2所述一种垂直大位移MEMS微镜，其特征在于:所述驱动臂(3)上还设置与所述热敏电阻(6)相连接的第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁金玲，谢会开，陈巧，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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