一种无源驱动MEMS光开关及加工工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种无源驱动MEMS光开关及加工工艺，其中无源驱动MEMS光开关包括镜体（1）、镜体边框（2）和还包括磁性件（3），镜体（1）通过弹性连接件（4）与镜体边框（2）相连接，磁性件（3）设置在镜体（1）的背面；本发明专利技术设计的无源驱动MEMS光开关结构简单、易于实现，取消了通电驱动的方式，具有很高的安全性；本发明专利技术针对无源驱动MEMS光开关的加工工艺采用了MEMS加工工艺，保证了产品的成品率，而且实现了批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种无源驱动MEMS光开关及加工工艺。
技术介绍
微机电系统(MEMS)技术的发展开辟了一个全新的
和产业，米用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域，相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米。采用与集成电路(IC)类似的生成技术，可大量利用集成电路(IC)生产中的成熟技术、工艺,进行大批量、低成本生产,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。现如今，微型化，高性能，低成本，大批量是当今器件制造的追求目标，微机电系统被广大设备制造商广泛应用。MEMS器件借助于成熟的半导体生产技术，使用硅等材料作为载体，促进了各式各样的新型微型化传感器与驱动器的蓬勃发展。光开关是一种具有一个或多个可选的传输端口，其作用是对光传输线路或集成光路中的光信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无源驱动MEMS光开关，包括镜体（1）和镜体边框（2），其特征在于：还包括磁性件（3），镜体（1）通过弹性连接件（4）与镜体边框（2）相连接；磁性件（3）设置在镜体（1）的背面。

【技术特征摘要】
1.一种无源驱动MEMS光开关，包括镜体(I)和镜体边框(2)，其特征在于还包括磁性件(3)，镜体(I)通过弹性连接件(4)与镜体边框(2)相连接；磁性件(3)设置在镜体(I)的背面。2.根据权利要求1所述一种无源驱动MEMS光开关，其特征在于还包括透光盖(8)，透光盖(8)以其内表面面向所述镜体(I)的方向、设置在镜体边框(2)的上方。3.根据权利要求1所述一种无源驱动MEMS光开关，其特征在于还包括底盖(6)，底盖(6)以其内表面面向所述磁性件(3)的方向、设置在镜体边框(2)的下方。4.根据权利要求3所述一种无源驱动MEMS光开关，其特征在于所述底盖(6)的内表面设置有凹槽(7)。5.根据权利要求1至4中任意一项所述一种无源驱动MEMS光开关，其特征在于所述镜体(I)其中的一边通过弹性连接件(4)与镜体边框(2)其中的一边相连接。6.根据权利要求5所述一种无源驱动MEMS光开关，其特征在于所述镜体(I)上与弹性连接件(4 )所在边、相对的另一边上设置有无磁性限位边(5 )。7.根据权利要求1至4中任意一项所述一种无源驱动MEMS光开关，其特征在于所述镜体(I)上相对的两边分别通过弹性连接件(4)与镜体边框(2)上相对的两边相连接。8.根据权利要求7所述一种无源驱动MEMS光开关，其特征在于所述镜体(I)上与设置在相对两边上弹性连接件(4)之间的连线、相垂直的另...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈巧，谢会开，丁金玲，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：