用于光线的可变偏转的装置制造方法及图纸

描述了一种用于光线的可变偏转的装置（100），其包括微机械镜排列（14），该微机械镜排列（14）具有多个反光镜致动器(18、20、22、24、26)；以及控制单元（32），通过该控制单元可控制镜致动器(18、20、22、24、26)至不同反射位置以改变光偏转。该装置（100）具有背反射结构（60），其系统性地适于镜排列（14），用于以目标形式将反射至背反射结构（60）的光从一部分镜致动器(18、20、22、24、26)反射返回至另一部分镜致动器(18、20、22、24、26)。

【技术实现步骤摘要】
用于光线的可变偏转的装置
本专利技术涉及一种用于光线的可变偏转的装置，其包括：微机械镜排列，该排列具有多个反光镜致动器；以及控制单元，通过该控制单元可控制镜致动器至不同反射位置以改变光偏转。
技术介绍
显微镜、特别是共焦显微镜中通常在成像光路的末端设置能够选择性检测所检测光的各个光谱分量的装置。通常使用分光器于此；它们透射光的特定光谱分量而反射其他的光谱分量。结果是例如，能够选择性地检测从样本发射的待成像的荧光辐射。能够用于选择性光检测的可替代方式是首先将所探测的光穿过光学色散元件，例如棱镜，其以波长相关方式折射所探测的光并因此产生光谱分散的、离散的光束。该光束然后传输至镜滑块设备，其由多层镜栅(mirrorcascade)组成。这些镜栅中的每一个都由两个镜元件组成，这两个镜元件由间隙彼此间隔。部分光谱上分开的光束穿过该间隙，而光束的其余部分在镜元件上反射至其他镜栅上，后者进而导引特定光谱分量至另一检测器。这种类型的镜滑块设备对比于现有技术主要使用的分光器具有优势，即通过移动镜元件而以简单方式改变将被传输至检测器的光谱分量。这种类型的镜滑块设备的实例在DE4330347A1和DE10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光线的可变偏转的装置（100），其包括微机械镜排列（14），其具有多个反光镜致动器(18、20、22、24、26)，以及控制单元（32），通过该控制单元可控制镜致动器(18、20、22、24、26)至不同反射位置以改变光偏转，其特征在于背反射结构（60），其系统性地适于镜排列（14），用于将从一部分镜致动器(18、20、22、24、26)反射至背反射结构（60）的光以目标形式反射返回至另一部分镜致动器(18、20、22、24、26)。

【技术特征摘要】
2011.08.01 DE 102011052336.71.一种具有用于光线的可变偏转的装置(100)的显微镜，其包括微机械镜排列(14)，其具有多个反光镜致动器(18、20、22、24、26)，以及控制单元(32)，通过该控制单元可控制镜致动器(18、20、22、24、26)至不同反射位置以改变光偏转，其特征在于背反射结构(60)，其系统性地适于镜排列(14)，用于将从一部分镜致动器(18、20、22、24、26)反射至背反射结构(60)的光以目标形式反射返回至另一部分镜致动器(18、20、22、24、26)，以及容纳镜排列(14)的外壳(12)、以及安装在外壳(12)上的透明盖(34)，在所述透明盖(34)朝向镜排列的下侧涂覆反射涂层形式的背反射结构(60)。2.根据权利要求1所述的显微镜，其中每个所述镜致动器(18、20、22、24、26)可精确控制至两个反射位置。3.根据权利要求2所述的显微镜，其中针对每个所述镜致动器(18、20、22、24、26)设置两个停止点以限定所述两个反射位置。4.根据权利要求1所述的显微镜，其中所述背反射结构(60)为静止形式。5.根据权利要求1所述的显微镜，其中所述镜致动器(18、20、22、24、26)形成多个彼此平行布置的多个镜行(30a、30b、30c)。6.根据权利要求5所述的显微镜，其中布置于相应镜行(30a、30b、30c)中的所述镜致动器(18、20、22、24、26)在它们的反射位置上具有相对于镜排列(14)的共同参考平面(E)的相同倾斜角度。7.根据权利要求5所述的显微镜，其中布置于相应镜行(30a、30b、30c)中的所述镜致动器(18、20、22、24、26)在它们的反射位置上具有相对于镜排列(14)的共同参考平面(E)的不同倾斜角度。8.根据权利要求5所述的显微镜，其中布置于相应镜行(30a、30b、30c)中的所述镜致动器(18、20、22、24、26)中的至少一个在它的反射位置上具有相对于镜排列(14)的共同参考平面(E)的不同幅度的倾斜角度。9.根据前述任一权利要求所述的显微镜，其中所述背反射结构(60)包括多个反射元件(40、42、44...

【专利技术属性】
技术研发人员：F·施莱柏，
申请(专利权)人：徕卡显微系统复合显微镜有限公司，
类型：发明
国别省市：