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描述了一种用于光线的可变偏转的装置（100），其包括微机械镜排列（14），该微机械镜排列（14）具有多个反光镜致动器(18、20、22、24、26)；以及控制单元（32），通过该控制单元可控制镜致动器(18、20、22、24、26)至不同反...该专利属于徕卡显微系统复合显微镜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徕卡显微系统复合显微镜有限公司授权不得商用。
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描述了一种用于光线的可变偏转的装置（100），其包括微机械镜排列（14），该微机械镜排列（14）具有多个反光镜致动器(18、20、22、24、26)；以及控制单元（32），通过该控制单元可控制镜致动器(18、20、22、24、26)至不同反...