【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微镜，具体来说，涉及一种表面微机械加工的模拟微镜。
技术介绍
作为一种重要的光学MEMS器件,娃微机械(也就是MEMS)微镜在光纤通讯、投影显示、数据存储、精密测量、医疗成像等国防和民用领域都有着广泛的应用。一般来说，压电驱动的硅微镜工艺复杂性和难度较高，压电材料的生长方式通常与硅微加工技术不兼容；电磁驱动的微镜系统结构设计与加工制造都比较复杂，且需要考虑到电磁场的屏蔽；目前最著名的是TI公司的数字微镜。该镜采用静电驱动，具有固定的偏转角度。实际应用中常需要能连续改变角度的微镜，通常的结构难以实现，这也是目前需要研究和解决的问题。
技术实现思路
技术问题本专利技术所要解决的技术问题是提供一种表面微机械加工的模拟微镜，该结构的模拟微镜可连续改变微镜面的旋转角度。技术方案为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是—种表面微机械加工的模拟微镜，该模拟微镜包括微镜面、扭转梁、第一驱动梁、锚区、压焊区、衬底、隔离层和第二驱动梁，所述的锚区为四个，锚区位于衬底上方，且隔离层连接在锚区和衬底之间；每个锚区的顶面设有一个压焊区；第一驱动梁的两端连接在两个锚区上...
【技术保护点】
一种表面微机械加工的模拟微镜，其特征在于，该模拟微镜包括微镜面（1）、扭转梁（2）、第一驱动梁（3）、锚区（4）、压焊区（5）、衬底（6）、隔离层（7）和第二驱动梁（8），所述的锚区（4）为四个，锚区（4）位于衬底（6）上方，且隔离层（7）连接在锚区（4）和衬底（6）之间；每个锚区（4）的顶面设有一个压焊区（5）；第一驱动梁（3）的两端连接在两个锚区（4）上，第二驱动梁（8）连接在其余两个锚区（4）上，且第一驱动梁（3）和第二驱动梁（8）相互平行；第一驱动梁（3）包括第一上驱动梁（301）和第一下驱动梁（302），第一下驱动梁（302）的顶面连接在第一上驱动梁（301）的底...
【技术特征摘要】
1.一种表面微机械加工的模拟微镜，其特征在于，该模拟微镜包括微镜面(I)、扭转梁(2)、第一驱动梁(3)、锚区(4)、压焊区(5)、衬底(6)、隔离层(7)和第二驱动梁(8)，所述的锚区(4)为四个，锚区(4)位于衬底(6)上方，且隔离层(7)连接在锚区(4)和衬底(6)之间；每个锚区(4)的顶面设有一个压焊区(5);第一驱动梁(3)的两端连接在两个锚区(4)上，第二驱动梁(8)连接在其余两个锚区(4)上，且第一驱动梁(3)和第二驱动梁(8)相互平行；第一驱动梁(3)包括第一上驱动梁(301)和第一下驱动梁(302)，第一下驱动梁(302)的顶面连接在第一上驱动梁(301)的底面，且第一上驱动梁(301)和第一下驱动梁(302 )的热膨胀系数不同；微镜面(I)相对的两侧各通过一个扭转梁(2)与第一驱动梁(3)和第二驱动梁(8)连接。2.按照权利要求1所述的表面微机械加工的模拟微镜，其特征在于，所述的第一驱动梁(3)中，第一上驱动梁(301)或者第一下驱动梁(302)由电阻材料制成，或者第一上驱动梁(3...
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