【技术实现步骤摘要】
这些技术教导大体上涉及MEMS光学开关。
技术介绍
光学开关是沿着光学网络的选定光纤传送光学信号的装置。这些开关构成现代光学网络的基础构建基块。现有技术光学开关主要是基于执行机械运动、改变波导耦合比且执行偏振旋转的机构。基于机械继电器的光学开关具有大尺寸。在MEMS技术中已重在关注小尺寸的光学开关。其中，基于MEMS静电旋转镜的装置是最常见的一种方法。然而，这些装置需要高电场来产生足够的激励力，这导致需要成本高的气密封装。此外，这些装置是非闩锁的，且在失去外部电力时开关状态会丢失。使用电热激励的双稳态机构也用于光学开关。然而，那些装置针对垂直蚀刻镜使用平面内激励，从而导致制造成本较高且镜尺寸深度较小。因此，需要一种改进的MEMS开关设计，其尺寸小、超稳定、闩锁、成本低且容易制造、尺度可适于多个输出口。
技术实现思路
这些教示的光学开关的一个实施例包含双稳态组件，其包括一个或一个以上第一梁和一个或一个以上第二梁；反射组件，一个或一个以上第一梁从第一支撑件延伸到反射组件上的位置，一个或一个以上第二梁从第二支撑件延伸到反射组件上的所述位置，反射组件以操作方式连接到双稳态组...
【技术保护点】
一种光学开关，其包括：双稳态组件，其包括一个或一个以上第一梁和一个或一个以上第二梁；反射组件；所述一个或一个以上第一梁从第一支撑件延伸到所述反射组件上的位置；所述一个或一个以上第二梁从第二支撑件延伸到所述反射组件上的所述位置；所述反射组件以操作方式连接到所述双稳态组件；第一电热弯曲梁激励器组件，其从第一电极延伸到第二电极；第一接触组件，其以操作方式连接到所述第一电热弯曲梁激励器组件；所述第一电热弯曲梁激励器组件和所述第一接触组件安置成使所述双稳态组件和所述反射组件能够从第一稳定配置推进到第二稳定配置；第二电热弯曲梁激励器组件，其从第三电极延伸到第四电极；以及第二接触组件，其...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹露中，钟桂雄，寿援新，艾米特·戈萨，颜军，赵京，
申请(专利权)人：安捷讯公司，
类型：发明
国别省市：
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