微机电系统可调式光衰减器技术方案

本实用新型专利技术公开了一种微机电系统可调式光衰减器，包括底座、微机电系统可调式光衰减器芯片和双纤准直器，以及呈管状封装管，所述封装管分为芯片部和双纤准直器部，芯片部与双纤准直器部由一个间隔部隔开，间隔部上设置有一个通孔，底座与封装管的芯片部一端密封连接，使得所述微机电系统可调式光衰减器芯片被容纳在所述芯片部中，双纤准直器由双纤准直器部的一端插入所述封装管，使得所述双纤准直器前段被容纳在所述双纤准直器部中，封装管内部与外界密封隔离。本实用新型专利技术通过采用上述技术方案，使得微机电系统可调式光衰减器性能更好、成本更低、工艺更简便。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种可调式光衰减器，尤其是一种反射式微机电系统可调式光衰减器。
技术介绍
(MEMS)微机电系统可调式光衰减器(VOA)可以按照使用者的需要通过外加电压来调节光强度的衰减，微机电系统可调式光衰减器(MEMS V0A)能广泛应用于控制和调节光通讯系统中光强度的场合中。基于微机电系统技术的可调式光衰减器是可调式光衰减器的主要解决方案之一，具有体积小、功耗低的优势。反射式微机电系统可调式光衰减器通过静电或者电磁力驱动一个扭转微机电系统反射镜芯片，使入射光束偏转以减少耦合进输出光纤的光功率来实现衰减。微机电系统可调式光衰减器通常以一个双光纤准直器与微机电系统芯片进行耦合，实现紧凑的封装结构。微机电系统可调式光衰减器芯片必须要在适当的净化环境中进行密封，以保证微机电系统可调式光衰减器芯片的反射镜不被灰尘颗粒与水汽污染，微电机械转轴不被灰尘颗粒与水汽腐蚀卡住而影响转动。在现有产品中有以下方式实现微机电系统可调式光衰减器的气密封装。如图I所示为一种现有微机电系统可调式光衰减器，先把微机电系统可调式光衰减器芯片2固定在底座I的凸台12上，将芯片2上的正负接线端与底座I上相应的管脚连接。管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电系统可调式光衰减器，包括底座、微机电系统可调式光衰减器芯片和双纤准直器，所述微机电系统可调式光衰减器芯片设置在所述底座上，其特征在于，还包括呈管状封装管，所述封装管分为芯片部和双纤准直器部两部分，所述芯片部与所述双纤准直器部由一个间隔部隔开，所述间隔部上设置有一个通孔，所述底座与封装管的芯片部一端密封连接，使得所述微机电系统可调式光衰减器芯片被容纳在所述芯片部中，所述双纤准直器由所述双纤准直器部的一端插入所述封装管，使得所述双纤准直器前段被容纳在所述双纤准直器部中，所述双纤准直器通过所述间隔部的通孔对准所述微机电系统可调式光衰减器芯片，所述封装管的双纤准直器部一端与所述双纤准直器的外...

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统可调式光衰减器，包括底座、微机电系统可调式光衰减器芯片和双纤准直器，所述微机电系统可调式光衰减器芯片设置在所述底座上，其特征在于，还包括呈管状封装管，所述封装管分为芯片部和双纤准直器部两部分，所述芯片部与所述双纤准直器部由一个间隔部隔开，所述间隔部上设置有一个通孔，所述底座与封装管的芯片部一端密封连接，使得所述微机电系统可调式光衰减器芯片被容纳在所述芯片部中，所述双纤准直器由所述双纤准直器部的一端插入所述封装管，使得所述双纤准直器前段被容纳在所述双纤准直器部中，所述双纤准直器通过所述间隔部的通孔对准所述微机电系统可调式光衰减器芯片，所述封装管的双纤准直器部一端与所述双纤准直器的外部密封连接，所述封装管内部与外界密封隔离。2.根据权利要求I所述的微机电系统可调式光衰减器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟祖平，张前进，王海燕，
申请(专利权)人：上海中科股份有限公司，上海中科光纤通讯器件有限公司，上海中科创欣通讯设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：