一种集成倾角可控MEMS微镜的器件制造技术

本发明专利技术公开了一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜、基底、电引线，所述电引线设置于所述基底上，所述MEMS微镜与所述基底之间连接有驱动臂，所述MEMS微镜底部无支撑地悬空设置，所述驱动臂上集成设置有反馈电路，以实时反馈MEMS微镜的偏转角度。该器件的MEMS微镜与入射光源成一定角度倾斜，无需额外基座，且其倾斜角度可以自由控制；单片MEMS微镜集成，MEMS微镜的电连接设置于基底上，方便操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种集成倾角可控MEMS微镜的器件,属于微机电系统领域。
技术介绍
MEMS (Micro-electro-mechanical systems),即微机电系统,是利用微加工技术制造出来的各种微型器件或系统，主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科，而其中MEMS微镜系统就是此技术的一个典型应用。MEMS微镜主要用于控制光线的偏转方向，作为MEMS器件的典型产品应用器应用甚广。随着器件的微型化，MEMS微镜被广泛用于微型投影仪，光开关，光可变衰减器，微型光谱仪，微型光学探头等；其中许多情况下，都要求MEMS微镜与入射光成一定的角度，如图I中所示。·为使MEMS微镜能倾斜一定角度，现有的方法一般是把MEMS微镜贴敷于具有固定角度的基座上(Huikai Xie etc. , 3D In Vivo optical coherencetomography based on alow-voltage, large-scan-range 2D MEMS mirror),或者本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜（1）、基底（3）、电引线（31），所述电引线（31）设置于所述基底（3）上，其特征在于：所述MEMS微镜（1）与所述基底（3）之间连接有驱动臂（2），所述MEMS微镜（1）底部无支撑地悬空设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢会开，周亮，陈巧，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：