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本发明公开了一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜、基底、电引线，所述电引线设置于所述基底上，所述MEMS微镜与所述基底之间连接有驱动臂，所述MEMS微镜底部无支撑地悬空设置，所述驱动臂上集成设置有反馈电路，以实时反馈MEMS...
该专利属于无锡微奥科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微奥科技有限公司授权不得商用。

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